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超高真空抽气机组的主要技术要求

2019-12-26

超高真空机组工作在10-6~10-10Pa超高真空压力范围,除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外,对机组的要求还有:

(1)主泵的极限真空要高.至少在10-7~10-8Pa以上;

(2)在超高真空的工作压力范围内主泵具有一定的抽速;

(3)机组的主泵或主泵进气口以上部分能承受200-450℃的高温烘烤。

(4)来自主泵的返流气体(包括工作液蒸气及解析的气体)的分压力要足够低。

(5)对被抽气体选择性强的主泵,要配备足够大的辅助泵;

(6)机组主泵进气口以上的管道、阀门等部件,材料的选择和密封要特别慎重。一般采用出气率较低的不锈钢和采用金属密封材料,以耐高温烘烤。

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12-25

真空泵在半导体制造业中的运用

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空...

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01-16

冷干机为什么需要热气旁通阀?如何选择有效的热气旁通阀

低温对很多设备都很不利,对冷干机也是如此。在热气旁通阀的帮助下,可以保证冷干机制冷系统在佳温度下工作,而不会损害系统健康。就像在寒冷的冬天给冷干机穿上了一件华丽的大衣。 冷干机为什么需要热气旁通阀?...

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02-03

变频式螺杆压缩机的节能分析及选型

变频式螺杆压缩机的节能分析及选型: 一、设计 螺杆压缩机的转子型线对节能有一定影响,2000年之前螺杆压缩机尚在成长期,可靠性是主要问题。那时,螺杆压缩机的转子型线研发把可靠性作为主要目标。 21世纪后能源...

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11-29

空压机润滑油可以混用吗?如何防止润滑油混用

武汉某电厂有两台螺杆式压缩机,规格为18.5kw,风冷机组.电机转速1480转每分钟。该厂共安装有10空气压缩机,采用厂家提供的原装空压机油,由于润滑油价格较高,所以用了替代油品,替代油品同样为合成油,为安全起...

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11-13

空压机转子维修的那些注意事项

空压机转子轴向向间隙测量之后,如需要进行轴向间隙的调整,则相应的在出口端定位片处增加垫片,一般定位片没有明显磨损就不需要调整。 另外SKF圆锥滚子轴承安装后如轴承安装不到位或锁紧紧力不足会造成进口端轴...

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10-27

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11-28

空气压缩机小修包括那些内容?

空压机维修又分为小修、中修和大修它们之间只有大概的区分,并无的界线,而且各个使用单位的具体情况也不相同,所以划分不一,那么空气压缩机小修包括那些内容?一般小修的内容就是消除压缩机的个别缺陷和更换一...

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04-24

空压机出现的几种状态都让人难以忍受

人会生病,机械设备用久了也一样会坏,所以空压机也不例外。空压机作为企业制造与生产的一大能源动力,在各行各业中也起着相当大的作用,但是如果使用不当,再好的机器使用寿命也不会长久。空压机出现的几种状...

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06-01

武汉租赁4立方空压机一天价格大概多少钱?

武汉租赁4立方空压机一天价格大概多少钱?租一天的价格不好说啊,单说租的价格肯定是不会贵的,一般200块左右一天,主要是将空压机运输过去的成本和安装的成本,说实话,租一天会有点浪费。

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04-24

永磁变频空压机配置以及节能分析

永磁变频空压机配置: 1、产气量持续等于管网耗气量; 2、单台空压机或处于额定工况或处于停机状态。 根据统计分析结果将管网耗气量分配给多台空压机,让一台较大空压机提供恒定部分的用气;用几台较...

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04-24

四大常见武汉空压机运用

1.压缩气体用于制冷和气体分离 气体经紧缩、冷却、胀大而液化,用于人工制冷(冷冻冷藏及空气调节等)如氨或氟利昂武汉空压机。其紧缩压力多为8~12公斤/平方厘米,这一类空压机一般变成“制冷机”或“冰机”。...

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03-21

武汉空压机哪家好?

武汉空压机哪家好?请咨询我们,毕竟武汉空压机供应商实在是太多了,各种各样的供应商参差不齐。那么作为普通企业用户来说,在武汉如何找到适合自己的空压机供应商尤为重要。 面对市场上各式各样不同功效的压缩...

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09-10

螺杆空压机主机机头卡死的主要原因及解决方法

对于日常运维空压机设备来说,空压机主机维修保养是一个非常重要步骤,因为主机不能正常工作直接导致无法供气进而影响到生产,而对于螺杆空压机机头卡死原因我们武汉空压机服务团队都是有非常的技术工程师的维修...

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01-03

英格索兰变频空压机选购的注意事项

变频空压机节能、环保、高效这些优点一般对空压机行业稍有了解的人都会知道,但如何选择合适的变频空压机却不是所有人都知道的,下面武汉螺杆空压机小编就来为大家好好介绍下吧. 1.稳. 随着经济的复苏,国内大部...

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08-17

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法: 1、进气质量达不到指定标准 处理方法:调整进气压力和温度 2、再生气量太小 处理方法:调节再生气阀门(一定确保两组开合程度一致),或联系贝腾售后服务人员 3、...

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09-11

武汉空压机总结螺杆空压机八步节能环保方法

武汉空压机总结螺杆空压机八步节能环保方法: 一、治理泄漏 据测算,一个1mm2的小孔,在7bar压力下,泄漏量约为1.5L/S,检查所有的输送管网及用气点,特别是接头、阀门等处,及时处理泄漏点。 二、压降治理 通过...

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09-22

清洗空压机机头的作用与方法及高温解决方法

对于如何清洗空压机机头,先对清洗空压机机头的作用和清洗空压机机头的方法进行概述,然后再对空压机机头高温解决方法进行概述。 清洗空压机机头作用: 空压机使用时间长了,内部会有油垢,积碳,沉淀物,锈迹。...

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12-15

真空泵的分类和性能

近年来,已开发出从大气压到高真空,仅用一台泵就能实现的新型真空泵。但一般来说,为了获得高真空、超高真空及极高真空,还是串联多台真空泵构成机组形式来完成抽气任务的。因此,正确了解泵的工作原理、主要性...

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05-06

武汉静音空压机多少钱一台价格?

武汉静音空压机多少钱一台价格?这个要根据品牌,配置,还有是螺杆式的还是涡旋式的,是1立方还是10立方,功率、压力这些都不清楚,很难知道静音空压机价格一台多少钱。 静音空压机简介: 静音空压机分为有油静音...

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04-25

各地税务部门正利用税收数据牵线搭桥 助力湖北加快复产复销

湖北复工复产,有的企业面临原材料供应、产品销售、资金运转等难题。国家税务总局24日介绍,各地税务部门正利用税收数据牵线搭桥,“一对一”帮扶湖北企业打通供应链、产销链、资金链上的痛点堵点,助力湖北加快复...

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