真空及真空热处理

所谓真空就是压强低于101.3kPa(1个大气压)的气态空间。真空度的高低用气态空间的压强大小来表示，即真空度越高，压强就越低。

在工作应用中，常把电炉的真空度划分为三种等级，即低真空，压强为1.33 x 103-13.3Pa;中真空，压强为13.3-1.33x10-2Pa;高真空，压强为1.33x10-2-1.33x10-4Pa,目前，大多数真空热处理炉所用的真空度为133-1.33x10-3Pa.

所谓真空热处理是指热处理工艺过程的全部或部分在真空状态下进行。实际上，是把真空当作一种纯度较高的保护气体，能有效地防止工件在高温下发生氧化脱碳反应，提高工件热处理的表面质量或改进化学热处理的效果。

现在，真空热处理已用于淬火、退火、回火、渗碳、渗氮、渗金属及其他表面硬化、表面合金化等工艺中。在淬火方面已实现了气淬、油淬、硝盐淬、水淬等处理。

获得真空的主要设备是真空泵。真空热处理炉常用的真空泵有:旋片式机械真空泵、滑阀式机械真空泵、机械增压泵、油增压泵和油扩散泵。前三种泵为机械类真空泵，后两者为油蒸气类真空泵。