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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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04-27

武汉空压机出租哪家比较便宜?

武汉空压机出租哪家比较便宜?本公司从事空压机销售及空压机出租赁多年,总结认为过于便宜的背后不仅仅是售后服务体验,更是影响生产进度的体现。建议多对比几家,切莫贪小便宜,方能找到性价比高的空压机出租服...

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04-24

螺杆空压机轴承损坏的原因有哪些

螺杆空压机轴承损坏的原因有哪些 一、安装不当 1、安装时使用蛮力,用锤子直接敲击轴承对轴承伤害大,是造成变形的主要原因。 2、安装不到位,安装有偏差或未装到轴承位,造成轴承游隙过小。内外圈不处于同一旋...

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04-24

武汉空压机的过载故障维修内容有哪些?

武汉空压机机组一直处于热备状态,当系统的供气压力低于武汉空压机机组的设定值时机组才会启动,是一种电机过载故障。在一般的情况下我们需要进行检查机身以及运行状态来分析与调整维修,主要的武汉空压机电机...

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01-20

真空应用中的前级真空泵

可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以...

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08-29

武汉空压机总结螺杆空压机漏油与过热的主要原因与解决方法

武汉空压机总结螺杆空压机漏油与过热的主要原因与解决方法: 螺杆空压机漏油的主要原因与解决方法: 1、空压机漏油,要注意观察油封部位,检查油封是否有龟裂、内唇口有无开裂或翻边。有上述情况之一的应更换;检...

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05-13

武汉塞德那压缩机有限公司怎么样?

武汉塞德那压缩机有限公司怎么样?武汉塞德那压缩机有限公司成立于2002年06月07日,注册地位于武汉经济技术开发区经开万达广场二期第S3幢1-2层S55号房,法人代表为官华明。经营范围包括机械设备、机电设备、建筑...

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08-05

选购永磁变频螺杆空压机前这4点不能忽略

永磁变频螺杆空压机取代易损件多、可靠性差的活塞式空压机,是如今空压机市场的趋势。在螺杆式空压机中,有双螺杆与单螺杆两种。现在市场上普遍使用的是双螺杆的空压机,在设计上双螺杆更加合理、稳定。武汉空压...

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09-21

武汉空压机总结分析螺杆空压机电机过载的13大原因及处理办法

武汉空压机总结分析螺杆空压机电机过载的13大原因及处理办法: 1.马达温度控制器故障,更换温度控制器; 2.过载保护器故障,更换过载保护器; 3.入气口阻塞,入气口做清洁保养; 4.传动皮带张力过紧,将传动皮带放松,...

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09-02

双螺杆式空压机高温检修的方法

双螺杆式空压机高温检修的方法:前提是空压机房温度在许可的范围内,油位是在正常状态(请参考随机说明)。先确认是否机器测温元件有故障,可以用另外的测温仪器进行校对,如果确认测温元件无问题,然后检查油冷...

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09-10

武汉空压机教您如何控制好空压机油温的小窍门

武汉空压机小编很荣幸能与您一起分享空压机的小知识,本文主要针对讲解控制空压机的小窍门,废话不多说,让我们一起来看看吧。 (一)油温过低的控制方法 油温过低或者长期不变,容易加大传动部位的摩擦,有时还...

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04-24

螺杆式空气压缩机冷却器清洗原因及处理方法

螺杆式空气压缩机冷却器清洗由于规模,规模是由水在温度变化,如果没有处理规模,将影响螺杆式空气压缩机冷却器正常的传热效果,降低压缩质量和气体量。因此,武汉空压机之家小编建议应该制定详细的螺杆空压机...

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09-17

武汉空压机浅谈精密过滤器滤芯在空压机中的作用

精密过滤器的主要作用是对已经被污染的介质进行净化,使净化后的介质能得到合理的应用,起到一种过滤的作用。在日常生活中,常常应用在水、空气等等行业,以下武汉空压机主要介绍一下在空压机中的作用。 精密过滤...

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08-28

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09-05

螺杆式空压机机头转子轴封处漏油的8大主要原因

螺杆空压机机头的轴封由于其运行工况决定了对其耐温性、耐磨性及压力状态下的密封性,它们都有很高的要求。用户在使用螺杆式空压机中出现机头转子轴封处漏油主要有以下几种可能。 1.有的机型油封套与轴之间有O型...

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09-11

武汉空压机总结螺杆空压机八步节能环保方法

武汉空压机总结螺杆空压机八步节能环保方法: 一、治理泄漏 据测算,一个1mm2的小孔,在7bar压力下,泄漏量约为1.5L/S,检查所有的输送管网及用气点,特别是接头、阀门等处,及时处理泄漏点。 二、压降治理 通过...

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05-10

武汉色选机配套专用空压机如何选型及开关机步骤

常用色选机配套空压机选型: 色选机产量(t/h) 3~10吨 5~15吨 带出比(坏:好) 15:1 15:1 选净率(%) 99.99% 99.99% 电源电压(v/Hz) 220/380-50 220/380-50 色选机功率(Kw) 1.5-3.5 2-4.5 ...

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10-27

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10-27

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09-12

武汉空压机简述高压螺杆空压机进气、压缩和排气的工作过程

一般情况下,高压螺杆空压机的工作过程可以简单的分为进气、压缩、排气不断循环的三个过程。 进气:当转子开始转动时,转子之间的齿轮空间会转到进气端壁,此时的空间是更大的,它与进气口是相通的,当排气完成后...

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11-27

再生气量对干燥机效率有什么影响

再生气量对干燥机效率有何影响对空压机保养来说,再生气就是清洗气,其作用是将干燥剂所吸附的水分解吸并带出干燥塔。 再生方式的不同决定了所选择的再生气回流比的不同。无热再生式干燥因其所需的解吸能全部来自...

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