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在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
12-02
真空泵安全瓶的改进 为防止真空泵进水,可在抽气瓶塞上面增加1个T形管, T形管进气口上接一段橡皮管和1个夹子。抽气瓶塞下面接1个单自动活塞,活塞芯下端用线绳固定在1个钉有小铁钉的木板上,当抽气瓶进水时如接触...
12-15
近年来,已开发出从大气压到高真空,仅用一台泵就能实现的新型真空泵。但一般来说,为了获得高真空、超高真空及极高真空,还是串联多台真空泵构成机组形式来完成抽气任务的。因此,正确了解泵的工作原理、主要性...
06-04
武汉神驰压缩机有限公司怎么样?武汉神驰压缩机有限公司成立于2010年09月07日,注册地位于武汉市东西湖区十二支沟湖北现代五金机电城17栋1层20室(1),法人代表为李永毅。经营范围包括压缩机设计、制造及销售;机...
11-02
变形是压力容器使用过程中出现的主要缺陷之一,这在空压机维修时经常可以见到的,变形的类型较多。鼓胀和鼓包,都属于变形。导致这原因主要是: 1.变形的类型不同,影响不同。钝物撞击形成的机械鼓包,模具不妥产...
02-12
人士都知道,氧气切割厚度大、成本低,主要应用于碳钢。氮气的冷却、保护作用提高了切割质量,并且在不锈钢、铝、黄铜的切割中取得良好效果,解决了许多加工难题。氮气切割在实际生产中解决了许多加工难题,并且...
08-17
空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法: 1、进气质量达不到指定标准 处理方法:调整进气压力和温度 2、再生气量太小 处理方法:调节再生气阀门(一定确保两组开合程度一致),或联系贝腾售后服务人员 3、...
10-27
05-22
武汉无油空压机价格多少钱一台?看似很简单的一个问题,其实是较难回答。因为购买无油空压机涉及到客户所购买的品牌、规格、功率、排气量、压力等需求,单无油空压机价格来讲从几千到几十万都有的。 目前来说,1....
12-17
1、原因分析 解体检查,发现水环式真空泵泵体所有过流面腐蚀、磨损严重,前后端盖出现破洞。经过分析认为主要是因为泵吸入SO2烟气,造成循环水酸化,生成H2SO4,从而对泵体过流面造成腐蚀、磨损.其次泵体材料为...
09-11
螺杆压缩机无法自动启动故障原因及解决方法: 故障现象及可能原因 故障排除方法 电源未接通; 闭合上电源开关以接通电源。 控制回路保险丝熔断; 更换保险丝,找出原因并加以解决。 排气温度过高引起高...
11-18
前面武汉空压机小编分析过无热再生干燥机两罐不切换的原因,下面就来总结分享下无热再生干燥机两罐不切换解决方法如下: 1.按电气控制部分说明书检查接头和易损件,更换元件或线路板。 2.卸下消音器,若设备恢复...
11-20
螺杆式压缩机所产生的震动很小,帮不需做基础。但其所放置的地面应平整(机组的底面应填平),地下应为硬质土壤,地面宜采用混凝土磨平,以免因地面不平产生振动。 为连接管道和维护空压机保养方便,机组应放置于...
11-27
喷射泵是利用流体流动时范静压能与动能相互转换的原理来吸、送沉体的,既可用于吸送气体,也可用于吸送液体。在化工生产中,喷射泵常用于抽真空,故又称为喷射式真空泵。 喷射泵的工作流体可以是蒸汽,也可以是液...
10-30
空气干燥机是如何分类的?空气干燥机按生产方式分类可分为三种:吸收式干燥机、吸附式干燥机和冷冻式干燥机。 1.吸收式干燥机:压缩空气被迫通过如干燥白垩.氯化钙等干燥剂,它们与湿气起反应形成的乳化液从干燥...
09-06
对于空压机来说,安全阀是整个机器的安全控制部件,所以安全阀一旦出现任何问题一定要及时修复,否则有可能出现重大事故。空压机安全阀的主要作用是保证空压机中的压力值维持在正常的范围内,只有当压力超出正常...
05-28
武汉神驰压缩机有限公司武汉分公司怎么样?武汉神驰压缩机有限公司武汉分公司成立于2018年09月14日,注册地位于武汉市东西湖区径河路3号远洋世界二期一标段S2-3栋1层商15(10),法人代表为李永毅。经营范围包括预...
05-01
决定武汉哪家空压机比较好,其实可以从很多方面去考虑的,就看客户的侧重点在哪里,是质量还是价格等。相对而言,武汉做空压机比较好的商家相对实力较强,且报价或价格一定不会太低。 如何正确选择合适的空压机...
11-12
蒸发温度过低,通常有很多原因,经武汉空压机小编分析大概会有一些几点: 1.设计上的足导致蒸发器换热面积不够。 2.压缩机的功率太大出在制冷系统不能供应足够的冷媒。 3.蒸发器铜管表面结霜影响传热,压缩空气含...
04-05
武汉奇人压缩机维修服务有限公司怎么样?武汉奇人压缩机维修服务有限公司成立于2009年09月14日,注册地位于武汉市汉阳区汉阳大道365号,法人代表为张砚纯。经营范围包括空调设备、暖通设备、净水设备、空气净化设...
12-31
发电机真空泵工作时,所用机油来自柴油机主油道,真空泵工作后机油则应回到柴油机油底壳,若发电机真空泵回油堵塞会造成: (1)机油回不畅,使真空泵转子叶片易破碎,真空度下降或无真空。 (2)机油回不畅,使发电...