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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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12-26

超高真空抽气机组的主要技术要求

超高真空机组工作在10-6~10-10Pa超高真空压力范围,除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外,对机组的要求还有: (1)主泵的极限真空要高.至少在10-7~10-8Pa以上; (2)在超...

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05-03

武汉二手空压机哪里卖?

武汉二手空压机哪里卖?本公司虽然从事空压机销售及空压机维修保养服务,在经验多年的过程中,会偶然的遇到部分客户生意不好,顺手帮客户卖或顺带做起了二手空压机生意。若想长期使用建议不要购买二手的,不稳定...

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10-27

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09-07

武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点

传统的活塞空压机运用范围广,方便做高压,排气温度达到200摄氏度,冷却效果不好,活塞环沾到油污,易磨损,阀拍漏气,缸套磨损,振动大,噪音高,下面武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点。 活塞空压机优...

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04-24

无油空压机耐用吗?

无油空压机耐用吗? 无油空气压缩机(英文为:oil-free air compressor)是气源装置中的主体,它是将原动机的机械能转换成气体压力能的装置,是压缩空气的气压发生装置。 随着人们对压缩空气的质量要求越来越高...

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11-20

螺杆式压缩机管道的安装注意事项

螺杆式压缩机所产生的震动很小,帮不需做基础。但其所放置的地面应平整(机组的底面应填平),地下应为硬质土壤,地面宜采用混凝土磨平,以免因地面不平产生振动。 为连接管道和维护空压机保养方便,机组应放置于...

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05-09

武汉巨业压缩机制造有限公司怎么样?

武汉巨业压缩机制造有限公司怎么样?武汉巨业压缩机制造有限公司成立于1997年06月10日,注册地位于武汉阳逻经济开发区红岗村、余集村楚桥工业园4幢1-3层4-1号房,法人代表为朱正东。经营范围包括压缩机制造、销售...

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05-04

武汉空压机维修保养哪家好?

武汉空压机维修保养哪家好?武汉空压机提供各品牌空压机维修,空压机保养等空压机售后服务,完整的服务体系,24小时上门服务。全力为客户降低成本,并保持维修后的高品质。 空压机维修保养工作内容: 1. 根据机...

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10-27

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05-21

武汉斯尔达压缩机技术有限公司怎么样?

武汉斯尔达压缩机技术有限公司怎么样?武汉斯尔达压缩机技术有限公司成立于2018年05月15日,注册地位于武汉市黄陂区横店街夏教村夏家当村特1号,法人代表为彭壮。经营范围包括从事压缩机技术领域内的技术开发、技...

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08-26

空压机润滑油的作用和使用误区

空压机润滑油的作用和使用误区都有哪些?空压机对润滑油的要求十分严格苛刻。因此,正确地选用空压机油进行合理的润滑是保证空压机安全稳定运行的重要措施。下面武汉空压机小编就来总结分享下空压机润滑油的作用...

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10-27

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08-28

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08-28

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09-12

空压机变频节能改造的方法和效益分析

空压机变频改造的方法有三种,一种是改善电机的启动和运行方式,一种是减少空压机的耗气量,还有一种是使用变频器进行节能改造。 一、改善电机的启动和运行方式 改变空压机的齿轮箱和传动皮带,使电机运转时不再...

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11-04

螺杆式压缩机的6大优点

螺杆式压缩机属于容积型压缩设备,有往复式压缩机的特点 。就运动形式,螺杆式压缩机的转子与其它设备是不同的,所以螺杆式压缩机兼有者的特点,下面武汉空压机小编总结螺杆式压缩机的6大优点如下: 1.螺杆式压缩...

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08-17

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法: 1、进气质量达不到指定标准 处理方法:调整进气压力和温度 2、再生气量太小 处理方法:调节再生气阀门(一定确保两组开合程度一致),或联系贝腾售后服务人员 3、...

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12-04

武汉空压机浅谈空压机在井下工作时系统必须满足的要求

1.空压机冷却系统和气路系统必须要实现自动联动控制,可按照准确的程序进行启动、停机,这样能提高操作的准确性和安全系数。 2.压缩机控制系统更好具备手动控制和远程控制的方式。远程控制:能对系统运行的状态进...

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09-03

空压机不配备精密过滤器会带来不良后果 所以必须配备

在现代工业生产中,压缩空气被越来越广泛的应用,并且对提高生产效率和产品质量,提高生产操作的自动化程度和工作可靠性等方面,正起着越来越重要的作用。作为气源,由于经空压机排出的压缩空气中含有大量的水汽...

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04-24

冷冻式干燥机介绍

  一、冷干机工作原理   空气经压缩后变成高温、高压超市的压缩气体,这些压缩气体中虚心含有大量气态的水分、油分、尘埃等杂质如不有效去除,将会直接影响您的产盘质量、生产成本和经济效益。  二、冷干机的主...

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