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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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11-05

空压机容量设计要求

空气压缩机的型号、台数和不同空气品质,压力的供气系统,应根据供气要求.压缩空气负荷,经技术经济方案比较后确定。压缩空气站内,压缩机的台数宜为3-6台。对同一品质.压力的供气系统,空气压缩机的型号不宜超过...

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01-15

吸附式干燥机进气温度过高会有什么影响?主要有2点原因

通常,干燥机厂家会在说明书上注明吸附式干燥机的进气温度不宜过高,一般要控制在40℃以下。一旦吸干机进气温度过高,就会造成干燥机吸附剂失效,影响压缩空气的露点温度(即干燥度)。虽然厂家三申五令地强调了干...

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10-27

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11-29

稀油金属冶金要求中真空机组的配置

真空系统获得真空的过程称为抽真空,也叫做抽气或排气。在规定的气压下单位时间抽出的气体体积称为抽气速率,即抽速.也可以叫做泵速,单位是L/S.泵或某一真空系统在排气足够长的时问后所能达到的更低气压称为极限...

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08-17

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法: 1、进气质量达不到指定标准 处理方法:调整进气压力和温度 2、再生气量太小 处理方法:调节再生气阀门(一定确保两组开合程度一致),或联系贝腾售后服务人员 3、...

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12-02

螺杆压缩机管路连接

螺杆压缩机管路连接: 1.对于压缩机组,所需的吸气.排气管路等按所需的长度准备好,内部的氧化皮等应彻底清理干净并准备好必要的管路支架。 连接吸气.排气系统管路,不可强制连接,以免造成连接件的变形和机器与...

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01-10

空压机LPC控制的基本功能

1、多形式运转: A、单机主动气调/电调运转:在气调与电调间主动调换 B 、联机主动气调运转:无电调动作 C 、手动气调/电调运转:气调与电调间手动调换 螺杆空压机气调运转:在轻载状况(重载状况制止发动),电...

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04-24

永磁变频空压机配置以及节能分析

永磁变频空压机配置: 1、产气量持续等于管网耗气量; 2、单台空压机或处于额定工况或处于停机状态。 根据统计分析结果将管网耗气量分配给多台空压机,让一台较大空压机提供恒定部分的用气;用几台较...

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04-24

变频螺杆式空压机有何特点

变频螺杆式空压机主要电机、变频器控制面板、油过滤器、油气分离器、空气过滤器、进气阀、主机等。主机:世界螺杆机、高效率、低转速,... 变频螺杆式空压机主要电机、变频器控制面板、油过滤器、油气分离器、空...

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05-14

武汉哪家卖二手空压机比较好?

武汉哪家卖二手空压机比较好?本公司从事空压机销售及空压机维修保养多年,相对认为建议不要去武汉二手空压机市场买,因为市场混乱,同时二手空压机市场上很少有较好的二手空压机,如果有好的机器,早就被拿去当...

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09-07

武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点

传统的活塞空压机运用范围广,方便做高压,排气温度达到200摄氏度,冷却效果不好,活塞环沾到油污,易磨损,阀拍漏气,缸套磨损,振动大,噪音高,下面武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点。 活塞空压机优...

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09-13

空压机温度升高的原因及解决办法

空压机在长期的运行过程中,机器温度容易升高,温度升高会直接影响生产效益,下面武汉螺杆空压机就详细的述说一下空压机温度升高的原因及解决办法: 1、要保持空压机机房的通风,空压机使用过程中会产生大量的热...

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01-13

如何选择变频空压机

原材料、能源费用、人力资源等各方面的上涨,让企业投入和收入比例失调,像空压机这类耗电量惊人的设备,企业将如何面对?今天小编为您介绍一种新型的空压机——变频空压机。就可以解决企业难题,不过这类空压机价...

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01-07

药用化学常用基本仪器之真空泵

一、概述 真空泵是实验室更常用的设备之一,常在对真空度要求较高的场合下使用。真空泵的效能取决于泵的结构及油的好坏(油的蒸气压越低越好),好的真空泵能抽到10~100Pa的真空度。油泵的结构越精密,对工作条件的...

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05-09

武汉巨业压缩机制造有限公司怎么样?

武汉巨业压缩机制造有限公司怎么样?武汉巨业压缩机制造有限公司成立于1997年06月10日,注册地位于武汉阳逻经济开发区红岗村、余集村楚桥工业园4幢1-3层4-1号房,法人代表为朱正东。经营范围包括压缩机制造、销售...

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08-27

导致空压机油分跑油漏油的七大原因

很多空压机都出现过跑油的问题,在实际的处理过程中,发现大部分的故障投诉并非油分的质量问题造成的。那么,除了油分质量问题以外,还有哪些原因会导致油分跑油?武汉空压机工程师们在实践中总结出几种情况同样...

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03-21

武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?

武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?武汉市鹰王压缩机有限责任公司成立于1996年01月03日,注册地位于江岸区冯家墩208号,法人代表为水涛。经营范围包括空气压缩机、空压机后处理器、普通机械配件制造、销售;空压...

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08-28

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04-25

武汉空压机总结分享空压机常见报警(快速判断处理)

武汉空压机总结分享空压机常见报警(快速判断处理): 1、温度过高:指压缩机出口的油气混合气温度,大于等于110℃、120℃跳闸。 2、压力太高:指压缩机出口压力高于10bar、15bar跳闸。 3、油气分离器:从压缩机头...

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11-16

预冷器在冷干机中的作用

预冷器在冷干机里的主要作用是“回收”被蒸发器冷却后的压缩空气所携带的冷量(对绝大多数压缩机用户来讲这部分冷量属“废冷”),并用这部分冷量来冷却携带大量水蒸气的较高温度的压缩空气。 从而减轻了冷干机制冷系...

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