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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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01-15

吸附式干燥机进气温度过高会有什么影响?主要有2点原因

通常,干燥机厂家会在说明书上注明吸附式干燥机的进气温度不宜过高,一般要控制在40℃以下。一旦吸干机进气温度过高,就会造成干燥机吸附剂失效,影响压缩空气的露点温度(即干燥度)。虽然厂家三申五令地强调了干...

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08-28

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09-05

风稿、凿岩机、潜孔钻机的不同之处

风稿、凿岩机、潜孔钻机都属于矿山机械,但它们之间有着实质性的区别,从大小上看,购入的体积小,其次就是凿岩机,潜孔钻机体积大。针对不同的矿山,各自发挥着自己的优势为用户服务。 风镐相当于小型的爆破机,...

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01-16

冷干机为什么需要热气旁通阀?如何选择有效的热气旁通阀

低温对很多设备都很不利,对冷干机也是如此。在热气旁通阀的帮助下,可以保证冷干机制冷系统在佳温度下工作,而不会损害系统健康。就像在寒冷的冬天给冷干机穿上了一件华丽的大衣。 冷干机为什么需要热气旁通阀?...

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01-19

汉钟空压机故障停机显示高温停机是怎么回事?

汉钟空压机故障停机显示高温停机是怎么回事?汉钟空压机故障停机显示高温停机是由以下几点问题引起的: 1、 空压机长期未运转,润滑油无法润滑导致高温 2、 空压机润滑油量太少,导致无法冷却从而导致高温 3、 温...

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11-07

空压机保养和安全检修时应注意哪些事项

在做空压机保养和安全检修时应注意以下事项: 1.检修前做好各项准备工作,特别注意检修工机具的检查和安全措施的落实,检修前必须按规定程序办理安全检修任务书。 2.由机组使用单位负责修前的排放.转换.清洗.断电...

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12-10

在使用空气压缩机时应该注意些什么事项

空气压缩机的全名是空气压缩机,是压缩气体的设备。在使用空气压缩机时我们应该注意些什么呢? 操作前 1、油量:空气压缩机操作前应检查注油器内的油量不应低于刻度线值。 2、检查各运动部位、各联接部位、润滑系...

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06-07

武汉格林菲尔德压缩机有限责任公司怎么样?

武汉格林菲尔德压缩机有限责任公司怎么样?武汉格林菲尔德压缩机有限责任公司成立于2013年03月12日,注册地位于洪山区珞狮南路南湖雅园B区6号楼1单元16层1602室,法人代表为杨桂苟。经营范围包括空气压缩机、冷冻...

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04-30

库泰润科压缩机技术(武汉)有限公司怎么样?

库泰润科压缩机技术(武汉)有限公司怎么样?库泰润科压缩机技术(武汉)有限公司成立于2019年11月12日,注册地位于湖北省武汉市黄陂区滠口街富兴道100号,法人代表为王敏。经营范围包括从事压缩机配件的设计、制造及...

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04-24

武汉空压机的过载故障维修内容有哪些?

武汉空压机机组一直处于热备状态,当系统的供气压力低于武汉空压机机组的设定值时机组才会启动,是一种电机过载故障。在一般的情况下我们需要进行检查机身以及运行状态来分析与调整维修,主要的武汉空压机电机...

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04-11

武汉哪里的空压机质量好价格便宜?

武汉哪里的空压机质量好价格便宜?相对而言,外资一线空压机品牌价格更贵,国产一线品牌性价比更高些。其实质量好的东西价格都不便宜,又要好又要便宜基本不太可能,高质量等于高成本。 国内外空压机主流品牌: ...

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04-24

永磁变频螺杆空气压缩机的节能时代

A.永磁电机 在任何负载下始终保持96%以上的效率,相比普通低昂及节能38%以上,比感应式变频电机更节能10%以上。 采用同轴一体结构设计,不需要采用皮带、齿轮、联轴等传动元件,完全无传动损失,传动达到100%。 ...

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11-01

空压机后处理设备大类可分:空气净化与空气干燥设备

空压机后处理设备大类可以分为两种:一种是空气净化设备,第二种是空气干燥设备。 1.空气净化设备: 压缩空气的净化常指的是过滤掉空气中除水以外的其他污染物,其中有水.油和尘,水分的主要来源是空气中自有的,...

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11-19

空压机维护大致可以分为日常维护和维修

从工厂的空压机保养工作来看,压缩机的维护大致可以分为日常维护和维修。日常维护主要是由化工和机械.电气.仪表维护人员进行。 维修又可分为 计划维修和事故抢修,计划性维修要根据机器损坏的程度制定出维修周期...

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01-22

武汉空压机分析几种压缩机的性能并对它们的性能进行比较

在当今社会,冰箱和空调等已经成为了家庭和生产活动中不可或缺的一部分,这些设备可以使人们生活的更为舒适,同时在生产活动中也能使人们的工作效率大大提高,因此,人们往往选用性能良好的设备来满足自己的需求,这样...

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01-08

主真空系统的系统构成

真空气相干燥设备中的真空系统包括主真空系统和泄漏泵系统两部分。 ①系统构成主真空系统的构成如图1所示、主要由主泵(罗茨真空泵)、前级泵(旋片式真空泵或滑阀式真空泵)、前级冷凝器、中间冷凝器、排气分离器、水...

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10-27

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10-27

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04-24

变频螺杆式空压机有何特点

变频螺杆式空压机主要电机、变频器控制面板、油过滤器、油气分离器、空气过滤器、进气阀、主机等。主机:世界螺杆机、高效率、低转速,... 变频螺杆式空压机主要电机、变频器控制面板、油过滤器、油气分离器、空...

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10-27

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