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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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04-24

螺杆空压机维修保养操作还是交给人员更安全

每种机器在进行操作时都有注意一些安全措施,来保证机器的正常工作和操作人员的人身安全,同样螺杆空压机也不例外,它在操作工程中要进行一些安全防护措施,下面就让我们来一起了解一下。 一、在操作时必须...

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04-24

螺杆空压机正确的维护需要注意哪几点

螺杆空压机在使用的过程中我们要怎么去维护呢?相信会有部分人是不知道怎么去维护,或者是要怎么正确的去维护,维护的方法不会那么跟没去维护是没什么差别的,螺杆空压机机维护也是有需要注意的地方的,今天...

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01-22

武汉空压机分析几种压缩机的性能并对它们的性能进行比较

在当今社会,冰箱和空调等已经成为了家庭和生产活动中不可或缺的一部分,这些设备可以使人们生活的更为舒适,同时在生产活动中也能使人们的工作效率大大提高,因此,人们往往选用性能良好的设备来满足自己的需求,这样...

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09-13

空压机温度升高的原因及解决办法

空压机在长期的运行过程中,机器温度容易升高,温度升高会直接影响生产效益,下面武汉螺杆空压机就详细的述说一下空压机温度升高的原因及解决办法: 1、要保持空压机机房的通风,空压机使用过程中会产生大量的热...

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04-27

武汉空压机出租哪家比较便宜?

武汉空压机出租哪家比较便宜?本公司从事空压机销售及空压机出租赁多年,总结认为过于便宜的背后不仅仅是售后服务体验,更是影响生产进度的体现。建议多对比几家,切莫贪小便宜,方能找到性价比高的空压机出租服...

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12-12

移动螺杆空压机对润滑油的要求

移动螺杆机的特点是: (1)能便于经常移动,工作条件多变,负荷变化大。 (2)多属重负荷、中速或低速传动,大都要求频繁起动,并经常承受冲击负荷; (3)野外环境恶劣、潮湿、有岩尘、煤尘及瓦斯,有的还有含硫的有害...

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10-27

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11-27

再生气量对干燥机效率有什么影响

再生气量对干燥机效率有何影响对空压机保养来说,再生气就是清洗气,其作用是将干燥剂所吸附的水分解吸并带出干燥塔。 再生方式的不同决定了所选择的再生气回流比的不同。无热再生式干燥因其所需的解吸能全部来自...

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11-26

预防真空泵损坏的注意事项

在间隙不大的情况下,当温度升高时,真空泵盖子会膨胀,而泵壳却会阻止盖子的膨胀。由于此,泵壳内便会产生很大的应力,甚至使它爆裂。 为了防止真空泵由于温度应力而损坏,应该注意下列几点: (1)很好地把真空泵...

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09-08

延长空压机使用寿命有哪些方法

空压机的使用寿命并不是由空压机维修所决定的,其一是本身质量,其二是使用期间的维护。不同型号的空气压缩机,根据空压机的特点进行了几项改进,起到了很好的效果。下面就来跟武汉空压机看看延长空压机使用寿命...

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05-23

武汉中加天然气压缩机有限责任公司怎么样?

武汉中加天然气压缩机有限责任公司怎么样?武汉中加天然气压缩机有限责任公司成立于2006年06月14日,注册地位于武汉市江夏区金水工业园特1号,法人代表为吴元庆。经营范围包括天然气压缩机组和天然气处理设备的制...

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12-20

真空电炉用真空泵的详解

保证高度的真空除需要炉子的可靠的气密性及真空管道以外,还需要有合适的真空泵设备。 对真空泵的要求是根据进行还原周期的条件而提出的。炉内装加压块及炉子关闭以后,必须抽出炉膛内的空气。然后,随着装料的...

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04-25

稳住制造业龙头 武汉478家规上工业企业全部复工

4月20日,武汉“解封”后第13天。地处武汉西南的武汉开发区,尽管大雨笼罩,但难掩活力恢复。街头,一辆辆标着“东风本田储运”字样的集装箱物流车,正往来运送零部件;一台台长板拖车,载着刚下线的汽车、家电,驶向...

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05-28

武汉神驰压缩机有限公司武汉分公司怎么样?

武汉神驰压缩机有限公司武汉分公司怎么样?武汉神驰压缩机有限公司武汉分公司成立于2018年09月14日,注册地位于武汉市东西湖区径河路3号远洋世界二期一标段S2-3栋1层商15(10),法人代表为李永毅。经营范围包括预...

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04-25

螺杆空压机配置储气罐时需要注意哪些事项?

活塞式空压机一般都会有自带的储气罐,可以不用配置储气罐,而螺杆空压机就需要配置储气罐,螺杆空压机的正常工作时离不开储气罐的。螺杆空压机负责压缩空气,储气罐用来储存压缩空气,还可以缓冲减压,稳定空压...

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09-12

武汉空压机简述高压螺杆空压机进气、压缩和排气的工作过程

一般情况下,高压螺杆空压机的工作过程可以简单的分为进气、压缩、排气不断循环的三个过程。 进气:当转子开始转动时,转子之间的齿轮空间会转到进气端壁,此时的空间是更大的,它与进气口是相通的,当排气完成后...

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01-20

真空应用中的前级真空泵

可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以...

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08-11

螺杆空压机运转过程分三个阶段及工作原理三维动画

螺杆空压机运转过程分三个阶段: 吸气:阳转子的齿连续脱离阴转子的齿槽,齿间容积逐渐扩大,气体经吸气孔口进齿间容积,当齿间容积达到大值时,齿间容积与吸气孔口断开,封闭,吸气过程结束。此时阳和阴转子的齿...

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03-21

武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?

武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?武汉市鹰王压缩机有限责任公司成立于1996年01月03日,注册地位于江岸区冯家墩208号,法人代表为水涛。经营范围包括空气压缩机、空压机后处理器、普通机械配件制造、销售;空压...

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08-27

阿特拉斯空压机发生异常声响的原因和解决方法

阿特拉斯空压机在正常运行过程中,运动机件均有一种正常的声音,但当某机件发生故障时,将发出不正常的声响。根据这种异常的声响,就可找到发生故障的部位,通过武汉空压机分析,采取措施,排除障碍,恢复正常。 ...

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