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在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
12-24
气镇阀是旋片式真空泵为抽除可凝性气体而设置的通常,泵抽除的气体为性气体和可凝性气体的混合物.在压缩和排气的过程中.当可凝性气体的分压超过泵温对应的该气体饱和蒸气压时,可凝性气体会凝结并混于泵油中.随泵...
10-27
无热再生干燥机两罐不切换的原因: 1.程序控制器堵塞: 电磁阀不工作(用铁器碰电磁头无吸引力)。 2.消音器堵塞: 当电磁阀开启,高压罐卸压时气流受阻,致使受压差驱动的梭阀不能及时切换,变成三通,经消音器...
04-24
在选购空压机的时候该注意什么事项呢?大家对于选购空压机的方法知道多少呢?可能有些人觉得只要气量、压力足够就好了,或者觉得越贵的就越好,虽然说贵的是会要好点,但是它的其他性能方面也是要去考虑的,有...
12-18
一、螺杆空压机压力调节器的整定 卸载压力用上面的调节螺栓来进行调整。卸载压力提高,将螺栓顺时针旋转。逆时针旋转卸载压力降低。 压差值用其底部的差动旋钮来进行调整,逆时针旋转,空压机压差值减少,顺时针...
05-23
武汉中加天然气压缩机有限责任公司怎么样?武汉中加天然气压缩机有限责任公司成立于2006年06月14日,注册地位于武汉市江夏区金水工业园特1号,法人代表为吴元庆。经营范围包括天然气压缩机组和天然气处理设备的制...
03-21
武汉空压机哪家好?请咨询我们,毕竟武汉空压机供应商实在是太多了,各种各样的供应商参差不齐。那么作为普通企业用户来说,在武汉如何找到适合自己的空压机供应商尤为重要。 面对市场上各式各样不同功效的压缩...
11-10
说到空压机对空气质量有什么要求。我们就要先知道空气的主要组成成分,空气为多种气体的混合物。大至可分为,氮.氧.二氧化碳和水气灰尘等。压缩机属于高精密度配合的设备,在现在工业生产中对压缩气体的要求可以...
12-12
移动螺杆机的特点是: (1)能便于经常移动,工作条件多变,负荷变化大。 (2)多属重负荷、中速或低速传动,大都要求频繁起动,并经常承受冲击负荷; (3)野外环境恶劣、潮湿、有岩尘、煤尘及瓦斯,有的还有含硫的有害...
01-07
一、概述 真空泵是实验室更常用的设备之一,常在对真空度要求较高的场合下使用。真空泵的效能取决于泵的结构及油的好坏(油的蒸气压越低越好),好的真空泵能抽到10~100Pa的真空度。油泵的结构越精密,对工作条件的...
10-27
空气压缩机排气温度过高故障现象,机组运行中,排气温度高超过100度引起机组保护动作,这个在空压机保养中是很常见的问题那引起高温的情况有: 1.空压机润滑油油量不足或者是油的规格不正确使用时间过长等。 2.冷...
01-01
离心泵 往复式真空泵 1、离心泵液流不流动。 2、更高压头值决定于叶轮直径和轴的转数,而且不会超过由这些参数所确定的一定值。 3、在大流量下尺寸并不大。 4、开动前需要灌泵。 5、是和电动机或蒸汽透...
07-06
加装变频器的螺杆空压机的电气控制可分为两个系统:一个为内部控制系统;另一个为启动盘部分。启动盘乃是由一般电机常用的Y-△启动控制。而控制部分则为电子式控制,电子控制部分由于内部线路及控制较复杂。 变频...
09-11
螺杆压缩机无法自动启动故障原因及解决方法: 故障现象及可能原因 故障排除方法 电源未接通; 闭合上电源开关以接通电源。 控制回路保险丝熔断; 更换保险丝,找出原因并加以解决。 排气温度过高引起高...
11-30
真空系统启动时,要先用机械泵将系统抽至低真空,再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源,待油停止沸腾后再关冷凝水,再关闭扩散泵前后两个活...
10-27
11-28
空压机维修又分为小修、中修和大修它们之间只有大概的区分,并无的界线,而且各个使用单位的具体情况也不相同,所以划分不一,那么空气压缩机小修包括那些内容?一般小修的内容就是消除压缩机的个别缺陷和更换一...
11-22
空压机油气分离器的更换方法可按照以下几个方面来进行: 1.压缩机停机后,打开排放口阀,排放气体,并确认机器内无压力。 2.复盛油气分离器更换时一定要将油桶上方管路拆开,同时将压力维持阀出口至冷却器的管路...
01-15
通常,干燥机厂家会在说明书上注明吸附式干燥机的进气温度不宜过高,一般要控制在40℃以下。一旦吸干机进气温度过高,就会造成干燥机吸附剂失效,影响压缩空气的露点温度(即干燥度)。虽然厂家三申五令地强调了干...
05-22
武汉无油空压机价格多少钱一台?看似很简单的一个问题,其实是较难回答。因为购买无油空压机涉及到客户所购买的品牌、规格、功率、排气量、压力等需求,单无油空压机价格来讲从几千到几十万都有的。 目前来说,1....
09-23
一台高压空压机是由多个零部件组成的,每一个零部件都有属于它的“使命”,下面武汉空压机简单的讲述一下高压空压机的几个重要部件名称: 压缩机:这个是高压空压机系统不可或缺的一个部件,有风冷跟水冷之分,一般...