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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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11-07

空压机保养和安全检修时应注意哪些事项

在做空压机保养和安全检修时应注意以下事项: 1.检修前做好各项准备工作,特别注意检修工机具的检查和安全措施的落实,检修前必须按规定程序办理安全检修任务书。 2.由机组使用单位负责修前的排放.转换.清洗.断电...

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09-03

空压机不配备精密过滤器会带来不良后果 所以必须配备

在现代工业生产中,压缩空气被越来越广泛的应用,并且对提高生产效率和产品质量,提高生产操作的自动化程度和工作可靠性等方面,正起着越来越重要的作用。作为气源,由于经空压机排出的压缩空气中含有大量的水汽...

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05-10

武汉色选机配套专用空压机如何选型及开关机步骤

常用色选机配套空压机选型: 色选机产量(t/h) 3~10吨 5~15吨 带出比(坏:好) 15:1 15:1 选净率(%) 99.99% 99.99% 电源电压(v/Hz) 220/380-50 220/380-50 色选机功率(Kw) 1.5-3.5 2-4.5 ...

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12-27

如何选择国产螺杆空压机

面对市场上各式各样不同功效的螺杆空压机,很多用户对螺杆空压机的选型上无法有一个确切的认识,有时候是因为对不同螺杆空压机的功效和性能不能完全了解,而导致无法合理选型,无法选择可靠、高效、节能的螺杆空...

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08-28

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11-25

真空密封造型用的真空泵不宜选用干式,怎么办?

真空泵是真空密封造型用真空抽气系统中的更主要设备。根据真空密封造型的特点,真空泵需具备排气效率高、受吸入空气中粉尘的影响小、易维修、噪声低等条件,且不需要过高的 真空度,一般在33.99~66.650kPa(350-5...

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09-10

武汉空压机教您如何控制好空压机油温的小窍门

武汉空压机小编很荣幸能与您一起分享空压机的小知识,本文主要针对讲解控制空压机的小窍门,废话不多说,让我们一起来看看吧。 (一)油温过低的控制方法 油温过低或者长期不变,容易加大传动部位的摩擦,有时还...

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09-21

武汉空压机总结分析螺杆空压机电机过载的13大原因及处理办法

武汉空压机总结分析螺杆空压机电机过载的13大原因及处理办法: 1.马达温度控制器故障,更换温度控制器; 2.过载保护器故障,更换过载保护器; 3.入气口阻塞,入气口做清洁保养; 4.传动皮带张力过紧,将传动皮带放松,...

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06-27

如何来合理搭配空气压缩机后处理设备?

一些企业用空气压缩机气体有高有低,这样配置螺杆空压机后处理设备就不一样,要求压缩气体高,那么配置过滤级别就会多一些,要求低的一般空压机后处理配件简单。下面武汉空压机来介绍一下配置的效果以及根据使用...

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12-24

旋片真空泵气镇阀的工作原理

气镇阀是旋片式真空泵为抽除可凝性气体而设置的通常,泵抽除的气体为性气体和可凝性气体的混合物.在压缩和排气的过程中.当可凝性气体的分压超过泵温对应的该气体饱和蒸气压时,可凝性气体会凝结并混于泵油中.随泵...

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09-11

螺杆压缩机无法自动启动故障原因及解决方法

螺杆压缩机无法自动启动故障原因及解决方法: 故障现象及可能原因 故障排除方法 电源未接通; 闭合上电源开关以接通电源。 控制回路保险丝熔断; 更换保险丝,找出原因并加以解决。 排气温度过高引起高...

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12-30

真空及真空热处理

所谓真空就是压强低于101.3kPa(1个大气压)的气态空间。真空度的高低用气态空间的压强大小来表示,即真空度越高,压强就越低。 在工作应用中,常把电炉的真空度划分为三种等级,即低真空,压强为1.33 x 103-13.3P...

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11-28

空气压缩机小修包括那些内容?

空压机维修又分为小修、中修和大修它们之间只有大概的区分,并无的界线,而且各个使用单位的具体情况也不相同,所以划分不一,那么空气压缩机小修包括那些内容?一般小修的内容就是消除压缩机的个别缺陷和更换一...

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09-08

延长空压机使用寿命有哪些方法

空压机的使用寿命并不是由空压机维修所决定的,其一是本身质量,其二是使用期间的维护。不同型号的空气压缩机,根据空压机的特点进行了几项改进,起到了很好的效果。下面就来跟武汉空压机看看延长空压机使用寿命...

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09-22

清洗空压机机头的作用与方法及高温解决方法

对于如何清洗空压机机头,先对清洗空压机机头的作用和清洗空压机机头的方法进行概述,然后再对空压机机头高温解决方法进行概述。 清洗空压机机头作用: 空压机使用时间长了,内部会有油垢,积碳,沉淀物,锈迹。...

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11-27

喷射泵

喷射泵是利用流体流动时范静压能与动能相互转换的原理来吸、送沉体的,既可用于吸送气体,也可用于吸送液体。在化工生产中,喷射泵常用于抽真空,故又称为喷射式真空泵。 喷射泵的工作流体可以是蒸汽,也可以是液...

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09-20

空压机储气罐压力过高或过低的主要原因及解决方法

空压机储气罐压力过高或过低的主要原因及解决方法: 储气罐压力过低 故障现象及可能原因 故障排除方法 卸载压力设置不当; 设置使卸载压力小于额定大工作压力。 空气需求较少时进气阀门没有关闭; 按“进气...

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03-21

武汉凌达压缩机有限公司怎么样?

武汉凌达压缩机有限公司怎么样?武汉凌达压缩机有限公司成立于2011年05月17日,注册地位于武汉经济技术开发区全力北路188号,法人代表为文辉。经营范围包括生产和销售电冰箱压缩机、空调压缩机、除湿机压缩机、真...

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03-21

武汉江夏区宇豪空压机经营部怎么样?

武汉江夏区宇豪空压机经营部怎么样?武汉市江夏区宇豪空压机经营部成立于2005年06月08日,注册地位于武汉市江夏区纸坊街武昌大道493号,法人代表为桑秀芳。经营范围包括空压机及配件零售。

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09-01

武汉螺杆空压机分析空压机运行数据的采集

我们每天面对的空压机运行状态如何?主要参考内容是压缩机的数据。这些数据一般在压缩机的显示器上,有的是将数据信号接到配电盘上,通过电子仪表来显示。过去,运行活塞式空压机的时候,数据都在压缩机上,需要每...

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