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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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09-11

武汉空压机总结螺杆空压机八步节能环保方法

武汉空压机总结螺杆空压机八步节能环保方法: 一、治理泄漏 据测算,一个1mm2的小孔,在7bar压力下,泄漏量约为1.5L/S,检查所有的输送管网及用气点,特别是接头、阀门等处,及时处理泄漏点。 二、压降治理 通过...

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06-02

武汉三叶空气压缩机制造有限公司怎么样?

武汉三叶空气压缩机制造有限公司怎么样?武汉三叶空气压缩机制造有限公司成立于2000年07月10日,注册地位于硚口区常码头450号,法人代表为刘怀胜。经营范围包括空气压缩机及其配件的制造销售;金属结构件加工...

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05-29

武汉气体压缩机有限责任公司怎么样?

武汉气体压缩机有限责任公司怎么样?武汉气体压缩机有限责任公司成立于1991年07月09日,注册地位于武昌区和平大道523号,法人代表为杨晓功。经营范围包括气体压缩机制造;石油、化工、矿山机械加工;通用工程机械...

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11-12

蒸发温度过低是什么原因引起的?

蒸发温度过低,通常有很多原因,经武汉空压机小编分析大概会有一些几点: 1.设计上的足导致蒸发器换热面积不够。 2.压缩机的功率太大出在制冷系统不能供应足够的冷媒。 3.蒸发器铜管表面结霜影响传热,压缩空气含...

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02-24

吸附式干燥机配置过滤器的作用是什么呢?

在压缩空气系统中,吸附式干燥机很少单独使用,通常会在吸附式干燥机进气口前配置两支过滤器,在排气口后配置一支过滤器,几乎在所有气动管网中干燥器都是与过滤器配合使用的。这既是为了满足用气质量的需要,也...

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12-24

旋片真空泵气镇阀的工作原理

气镇阀是旋片式真空泵为抽除可凝性气体而设置的通常,泵抽除的气体为性气体和可凝性气体的混合物.在压缩和排气的过程中.当可凝性气体的分压超过泵温对应的该气体饱和蒸气压时,可凝性气体会凝结并混于泵油中.随泵...

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01-16

冷干机为什么需要热气旁通阀?如何选择有效的热气旁通阀

低温对很多设备都很不利,对冷干机也是如此。在热气旁通阀的帮助下,可以保证冷干机制冷系统在佳温度下工作,而不会损害系统健康。就像在寒冷的冬天给冷干机穿上了一件华丽的大衣。 冷干机为什么需要热气旁通阀?...

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12-01

活塞式压缩机的优缺点

活塞式压缩机的优点: 1.适用压力范围广,活塞式压缩机从低压到超高压都适用,目前工业上使用的高工作压力近350mpa,实验室中使用的压力则更高。 2.热效率高,由于 工作原理的不现,活塞式压缩机比螺杆式压缩机效...

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05-14

武汉哪家卖二手空压机比较好?

武汉哪家卖二手空压机比较好?本公司从事空压机销售及空压机维修保养多年,相对认为建议不要去武汉二手空压机市场买,因为市场混乱,同时二手空压机市场上很少有较好的二手空压机,如果有好的机器,早就被拿去当...

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03-21

武汉哪里有卖空压机?哪里买比较好?

武汉哪里有卖空压机?哪里买比较好?武汉空压机从事螺杆空压机,变频空压机等空压机销售及武汉空压机维修保养,依托售前、售中、售后服务体系,为企业提供压缩空气系统解决方案,竭诚欢迎各位业务洽谈! 选择空...

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04-24

螺杆式空气压缩机冷却器清洗原因及处理方法

螺杆式空气压缩机冷却器清洗由于规模,规模是由水在温度变化,如果没有处理规模,将影响螺杆式空气压缩机冷却器正常的传热效果,降低压缩质量和气体量。因此,武汉空压机之家小编建议应该制定详细的螺杆空压机...

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05-28

武汉神驰压缩机有限公司武汉分公司怎么样?

武汉神驰压缩机有限公司武汉分公司怎么样?武汉神驰压缩机有限公司武汉分公司成立于2018年09月14日,注册地位于武汉市东西湖区径河路3号远洋世界二期一标段S2-3栋1层商15(10),法人代表为李永毅。经营范围包括预...

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12-18

螺杆空压机使用需要注意哪些事项问题

一、螺杆空压机压力调节器的整定 卸载压力用上面的调节螺栓来进行调整。卸载压力提高,将螺栓顺时针旋转。逆时针旋转卸载压力降低。 压差值用其底部的差动旋钮来进行调整,逆时针旋转,空压机压差值减少,顺时针...

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09-22

空压机朝着节能环保的步伐迈进

随着我国多年的不断发展,目前国内空压机产品经过不断努力,研发出能够满足各类产品生产加工的空压机。不仅如此,如今空压机也正在朝着节能环保的方向迈步向前。 国内空压机市场已经在中规模的扩张中,并且一直保...

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04-24

空压机的冷却器该如何清洗

武汉空压机厂家告诉你,空压机的冷却器该如何清洗,大部分人都是不知道清洗冷却器的方法,胡乱的去弄这样会对冷却器造成伤害,而且还会出现洗不干净或者有着残留,今天科莱德武汉空压机小编就来跟大家说说...

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12-05

理想真空系统呈现的特性表现

根据气体运动论,当容器内气体温度恒定时,有PV=常数将上式对时间微分,并在泵以不变的体积速度S = dV/dt对容器抽空的条件下积分,这时,如果t=0时的压强为Po,便得p=p0e-(s/v)。 当系统内充以与器壁除反射外不...

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05-18

武汉东方昌盛压缩机有限公司怎么样?

武汉东方昌盛压缩机有限公司怎么样?武汉市东方昌盛压缩机有限公司成立于2006年11月02日,注册地位于武汉市江汉区友谊路99号安顺佳园1层A-71号,法人代表为彭杏华。经营范围包括空压机及配件、气动工具、五金机电...

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04-24

压缩机就是空压机吗?那你就错了

你有没有过这样认为,空压机就是压缩机吗?其实不然,两者是有区别的,压缩机是空压机和其他压缩机的总称,区别在哪呢? 空压机就是空气压缩机。主要是用来压缩空气的机械设备,在食品,五金,机械,...

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05-27

武汉艾格莱压缩机有限公司怎么样?

武汉艾格莱压缩机有限公司怎么样?武汉艾格莱压缩机有限公司成立于2014年01月02日,注册地位于武昌区武珞路528号A座21层5号,法人代表为王春。经营范围包括空气压缩机零售、维修;压缩机零部件设计、制作、零售;...

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12-14

活塞式空压机在使用运行过程中应该遵守哪些事项

活塞式空压机使用运行过程中,应该遵守哪些事项。通过对操作的规范,令机器保持稳定、高效的效率。由专人来负责看管设备,并实时记录各项的数据,能够全面的了解内部状况。 开机之前做好相应的检测,并确保电流、...

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