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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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03-21

武汉空气压缩机厂怎么样?

武汉空气压缩机厂怎么样?武汉市空气压缩机厂成立于1990年04月25日,注册地位于江岸区菜园街1号,法人代表为陶建新。经营范围包括空气压缩机制造;空气压缩机修理。武汉市空气压缩机厂具有1处分支机构。

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11-08

螺杆式压缩机变频改造的优点

一般企业购买压缩机时,不会购买仅够目前生产设备用气大小的空压设备,而是会为以后生产设备的增加而储备一定的气量调节空间,或者购买时直接按大用气量来计算。这在无形之中产生了能源的浪费,这一现象在行业内...

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12-03

空气压缩机不加载的主要原因及具体检修方法

空气压缩机不加载的原因:对于空气压缩机不加载问题,先要先确定是不是空压机保养时间以超过了规定的时间,如果不是应先检查分享器与卸荷阀是否存在泄漏现象, 重点应放在小压力阀上,加载不成功。压力调节器断基...

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04-24

空压机出现的几种状态都让人难以忍受

人会生病,机械设备用久了也一样会坏,所以空压机也不例外。空压机作为企业制造与生产的一大能源动力,在各行各业中也起着相当大的作用,但是如果使用不当,再好的机器使用寿命也不会长久。空压机出现的几种状...

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09-17

变频空压机排气温度过高一般是什么情况造成的

变频空压机排气温度过高一般是油冷却器和水冷却器温度过高引起的,也有可能是传感器失灵等原因。变频空压机在使用一段时间后,可能会出现排气温度高的现象,那么到底是什么原因造成的呢,下面武汉空压机就详细说...

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11-07

空压机保养和安全检修时应注意哪些事项

在做空压机保养和安全检修时应注意以下事项: 1.检修前做好各项准备工作,特别注意检修工机具的检查和安全措施的落实,检修前必须按规定程序办理安全检修任务书。 2.由机组使用单位负责修前的排放.转换.清洗.断电...

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04-24

螺杆压缩机行业技术已经加速迭代发展!

近几年,压缩机市场风云变幻,云谲风诡,但深究之下,隐于其后的除了企业战略之外,更重要的是各家企业正以加速度发展技术。 作为压缩机行业从业者,应该去感知这场悄无声息而来的技术迭代趋势。 纵观国内压缩机...

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03-03

油分芯破损时会发现空压机耗油非常严重

当油分芯破损时会发现空压机耗油非常严重,而且在储气罐和管路中会有大量的油份。严重时在储气罐排污阀排放时直接排出空压机油。

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04-24

四大常见武汉空压机运用

1.压缩气体用于制冷和气体分离 气体经紧缩、冷却、胀大而液化,用于人工制冷(冷冻冷藏及空气调节等)如氨或氟利昂武汉空压机。其紧缩压力多为8~12公斤/平方厘米,这一类空压机一般变成“制冷机”或“冰机”。...

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05-23

武汉中加天然气压缩机有限责任公司怎么样?

武汉中加天然气压缩机有限责任公司怎么样?武汉中加天然气压缩机有限责任公司成立于2006年06月14日,注册地位于武汉市江夏区金水工业园特1号,法人代表为吴元庆。经营范围包括天然气压缩机组和天然气处理设备的制...

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04-24

武汉空压机的过载故障维修内容有哪些?

武汉空压机机组一直处于热备状态,当系统的供气压力低于武汉空压机机组的设定值时机组才会启动,是一种电机过载故障。在一般的情况下我们需要进行检查机身以及运行状态来分析与调整维修,主要的武汉空压机电机...

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09-17

武汉空压机浅谈精密过滤器滤芯在空压机中的作用

精密过滤器的主要作用是对已经被污染的介质进行净化,使净化后的介质能得到合理的应用,起到一种过滤的作用。在日常生活中,常常应用在水、空气等等行业,以下武汉空压机主要介绍一下在空压机中的作用。 精密过滤...

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04-24

中法就氢储能技术发展合作交换意见

在近几天,国家发改委副主任、国家能源局局长努尔·白克力在武汉会见法国前总理拉法兰一行,双方就中国能源政策和能源发展情况、氢储能技术发展和中法企业在储能领域的合作前景等交换了意见。   据了解...

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09-11

螺杆压缩机无法自动启动故障原因及解决方法

螺杆压缩机无法自动启动故障原因及解决方法: 故障现象及可能原因 故障排除方法 电源未接通; 闭合上电源开关以接通电源。 控制回路保险丝熔断; 更换保险丝,找出原因并加以解决。 排气温度过高引起高...

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01-11

真空泵表面清洁的重要性

在真它系统的暴露表面上单一层单分子层气体的气体里基本上就是一个无限的气源,这使真空泵处于满负荷工作状态。可见光的波长为5x10-5cm左右,而单分子层中分子之间的间隔为10-7cm。了解这一点可以更突出单分子层...

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10-27

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06-27

如何来合理搭配空气压缩机后处理设备?

一些企业用空气压缩机气体有高有低,这样配置螺杆空压机后处理设备就不一样,要求压缩气体高,那么配置过滤级别就会多一些,要求低的一般空压机后处理配件简单。下面武汉空压机来介绍一下配置的效果以及根据使用...

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12-05

空压机润滑油的作用是什么?空压机对润滑油有哪些要求?

空压机是一种把机械能转换为气体压力的动力装置。常用于为风动工具提供气体动力,在石油化工、钻采、冶金等行业也常用于压送氧、氢、氨、天然气、焦炉煤气、惰性气体等介质。下面跟一起来武汉螺杆空压机小编了解...

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11-02

压力容器变形的类型较多 主要有3大类

变形是压力容器使用过程中出现的主要缺陷之一,这在空压机维修时经常可以见到的,变形的类型较多。鼓胀和鼓包,都属于变形。导致这原因主要是: 1.变形的类型不同,影响不同。钝物撞击形成的机械鼓包,模具不妥产...

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12-31

带真空泵发电机回油管堵塞会造成不良后果

发电机真空泵工作时,所用机油来自柴油机主油道,真空泵工作后机油则应回到柴油机油底壳,若发电机真空泵回油堵塞会造成: (1)机油回不畅,使真空泵转子叶片易破碎,真空度下降或无真空。 (2)机油回不畅,使发电...

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