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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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01-25

传统制氮方法主要是以深冷、分子筛、膜空分制氮这三种比较突出

近来我们一直都在讲制氮机的特点、应用及原理等知识,现在我们不聊制氮机,来聊聊传统的制氮方法,传统的制氮方法主要是以深冷空分制氮、分子筛空分制氮(PSA或变压吸附式)、膜空分制氮(中空纤维膜分离)这三种比...

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11-25

空压机机头怎么清洗方法?为什么要清洗空压机机头

空压机机头也称为转子,是压缩机的核心配件,为了更换的保护好设备以及延长空压机主机大修的时,能够定期的对机头进行清洗是非常有必要的。因为压缩机的转子属于高精密度配合工作的配件,如企业没有这方面的经验...

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09-17

武汉空压机浅谈精密过滤器滤芯在空压机中的作用

精密过滤器的主要作用是对已经被污染的介质进行净化,使净化后的介质能得到合理的应用,起到一种过滤的作用。在日常生活中,常常应用在水、空气等等行业,以下武汉空压机主要介绍一下在空压机中的作用。 精密过滤...

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12-05

空压机润滑油的作用是什么?空压机对润滑油有哪些要求?

空压机是一种把机械能转换为气体压力的动力装置。常用于为风动工具提供气体动力,在石油化工、钻采、冶金等行业也常用于压送氧、氢、氨、天然气、焦炉煤气、惰性气体等介质。下面跟一起来武汉螺杆空压机小编了解...

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11-30

选择合适的空压机润滑油的方法

空压机润滑油的选择应综合考虑以下几点: 1.机械设备实际使用时的工作条件 2.机械设备制造厂商油制造厂商的指定或推荐 3.从用户的经济安全等因素考虑。 选择合适的空压机润滑油的方法: 1.从用户的经济观点廛,选...

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11-03

螺杆式空压机润滑油系统的主要作用

螺杆式空压机润滑油系统的主要作用: 1.润滑油主要有润滑.冷却.密封.降噪.减振等作用。 2.润滑油可以在转子之间形成油膜,避免了转子间的接触,减少摩擦。润滑油产生的油膜能对压缩空气起到密封作用,提高了压缩...

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12-06

高压空压机压缩空气中含水过高原因

许多客户在使用高压空压机时,压缩空气时会出现很多问题:明明已经配备了干燥机,怎么生产的压缩空气含水量仍然很高呢?武汉空压机小编和大家分析一下这个问题,大家都知道干燥机的作用就是为了消除压缩空气中的冷...

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01-17

什么是激光切割机

激光切割机是将从激光器发射出的激光,经光路系统,聚焦成高功率密度的激光束。激光束照射到工件表面,使工件达到熔点或沸点,同时与光束同轴的高压气体将熔化或气化金属吹走。 随着光束与工件相对位置的移动,更...

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10-27

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09-02

双螺杆式空压机高温检修的方法

双螺杆式空压机高温检修的方法:前提是空压机房温度在许可的范围内,油位是在正常状态(请参考随机说明)。先确认是否机器测温元件有故障,可以用另外的测温仪器进行校对,如果确认测温元件无问题,然后检查油冷...

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11-26

空压机压力上不去先应检查的是压力系统

空压机压力上不去的原因可能有很多种,但是首先应检查的应该是压力系统: 1.系统压力在出厂前已设定好,一般无须调整。卸载和加载压力可在控制器中修改。 2.稳压阀的压力,使系统在压力未上升至减荷压力前,少量...

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05-09

武汉巨业压缩机制造有限公司怎么样?

武汉巨业压缩机制造有限公司怎么样?武汉巨业压缩机制造有限公司成立于1997年06月10日,注册地位于武汉阳逻经济开发区红岗村、余集村楚桥工业园4幢1-3层4-1号房,法人代表为朱正东。经营范围包括压缩机制造、销售...

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11-11

空压机气体液化应注意凝液的分离和排除

空压机气体液化是气体在压缩过程中可能会有液化发生,因此应注意凝液的分离和排除。 对于活塞式压缩机空压机气体液化,为了避免撞缸事故,压缩机的各级汽缸余隙容积都应略大一些,凝液多的其出口气阀应放在汽缸下...

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08-28

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06-07

武汉格林菲尔德压缩机有限责任公司怎么样?

武汉格林菲尔德压缩机有限责任公司怎么样?武汉格林菲尔德压缩机有限责任公司成立于2013年03月12日,注册地位于洪山区珞狮南路南湖雅园B区6号楼1单元16层1602室,法人代表为杨桂苟。经营范围包括空气压缩机、冷冻...

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08-23

吸干机干燥后气体含有少量水分的原因及处理方法

吸干机干燥后气体含有少量水分的原因及处理方法: 1、搭配空压机处理流量过大或含油量过高等 处理方法:检查空压机工作是否正常 2、供气主管道内部出现大量铁锈,堵塞消音器阀门 处理方法:将管道及储气罐内部铁...

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04-24

永磁变频螺杆空压机各个配件的正确保养与维护

1.永磁变频空压机进气空滤芯的维护与保养 空气滤清器是滤除空气尘埃污物的部件,过滤后的干净空气进入螺杆转子压缩腔压缩。因螺杆机内部间隙只允许15u以内的颗粒滤出。如果空滤芯堵塞破损,大量大于15u的颗粒物...

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05-19

武汉江压压缩机销售有限公司怎么样?

武汉江压压缩机销售有限公司怎么样?武汉江压压缩机销售有限公司成立于2007年04月03日,注册地位于武昌区紫阳路241号3栋1单元401号,法人代表为马继军。经营范围包括压缩机、印刷机及配件批零兼营及维修;机械电...

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12-24

旋片真空泵气镇阀的工作原理

气镇阀是旋片式真空泵为抽除可凝性气体而设置的通常,泵抽除的气体为性气体和可凝性气体的混合物.在压缩和排气的过程中.当可凝性气体的分压超过泵温对应的该气体饱和蒸气压时,可凝性气体会凝结并混于泵油中.随泵...

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09-01

武汉螺杆空压机分析空压机运行数据的采集

我们每天面对的空压机运行状态如何?主要参考内容是压缩机的数据。这些数据一般在压缩机的显示器上,有的是将数据信号接到配电盘上,通过电子仪表来显示。过去,运行活塞式空压机的时候,数据都在压缩机上,需要每...

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