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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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11-21

空压机对冷却系统的5大要求

空压机对冷却系统的5大要求: 1.空压机对冷却系统的要求,因螺杆式压缩机本身振动很小,压缩机只需安装在质地较硬,表面平坦的水平地面上。若加垫8-15mm厚的橡胶减振垫或要板对防振降噪更有利。 2.以机器上与地平...

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09-19

武汉空压机分享螺杆空压机余热回收工作流程

想知道目前螺杆空压机的市场有两大类别的空压机余热回收工作流程吗?利用技术是在不改变空压机原有工作状态的前提下合理利用空压机余热,通过水泵将冷却水经过冷热交换器把空压机的热油迅速冷却下来,将这部分余...

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01-11

真空泵表面清洁的重要性

在真它系统的暴露表面上单一层单分子层气体的气体里基本上就是一个无限的气源,这使真空泵处于满负荷工作状态。可见光的波长为5x10-5cm左右,而单分子层中分子之间的间隔为10-7cm。了解这一点可以更突出单分子层...

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10-27

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09-20

空压机储气罐压力过高或过低的主要原因及解决方法

空压机储气罐压力过高或过低的主要原因及解决方法: 储气罐压力过低 故障现象及可能原因 故障排除方法 卸载压力设置不当; 设置使卸载压力小于额定大工作压力。 空气需求较少时进气阀门没有关闭; 按“进气...

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02-15

如何根据气动工具的耗气量来选择空压机

如何根据气动工具的耗气量来选择空压机?空气压力比较简单,一般有8个大气压(115Psi)的,也有高压的如12个大气压(175Psi),这个假如没有特别要求的话一般8个大气压就已经足够. 空压机的气流量是由功率决定的,功率有1...

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12-08

离心机零部件清洗按照步骤

根据离心机结构特点,来逐个的拆卸,有些油污较严重的需要浸泡,找好相应的容器,并且小部件放置在显眼的位置,避免遗忘。利用的工具,不能蛮力敲打,确保没有因用力不当而带来的损伤。 管道、密封件、阀、轴承等...

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08-28

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09-15

空压机配件怎么拆卸技巧和方法

空压机设备内零部件众多。不同的空压机配件的拆卸方法也不同。例如各类阀件、电机、喷油泵等部件在拆卸时有很多注意事项。以下是武汉空压机简单分享关于空压机配件的一些拆卸技巧和方法。 1.拆卸荷阀时先拆除固定...

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08-28

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08-29

武汉空压机总结螺杆空压机漏油与过热的主要原因与解决方法

武汉空压机总结螺杆空压机漏油与过热的主要原因与解决方法: 螺杆空压机漏油的主要原因与解决方法: 1、空压机漏油,要注意观察油封部位,检查油封是否有龟裂、内唇口有无开裂或翻边。有上述情况之一的应更换;检...

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06-01

武汉租赁4立方空压机一天价格大概多少钱?

武汉租赁4立方空压机一天价格大概多少钱?租一天的价格不好说啊,单说租的价格肯定是不会贵的,一般200块左右一天,主要是将空压机运输过去的成本和安装的成本,说实话,租一天会有点浪费。

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09-07

空压机站燃烧爆炸的防范措施

空压机站燃烧爆炸的防范措施: 1.空压机应设置后冷却器和分离器,并应及时排放油水积液。 2.应按产品使用说明书,选择合适的润滑油。 3.适时、定期地清除压缩空气系统中废润滑油和它的分解物。 4.为避免形成静电...

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04-23

武汉鑫山空气压缩机制造有限公司怎么样?

武汉鑫山空气压缩机制造有限公司怎么样?武汉鑫山空气压缩机制造有限公司成立于2003年06月27日,注册地位于汉阳区磨山工业园十五建二排2号,法人代表为雷照良。经营范围包括普通货运;空气压缩机、气体分离设备制...

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06-05

武汉空压机维修哪家公司更靠谱?

武汉空压机维修哪家公司更靠谱?我司从事螺杆空压机维修、空压机保养、螺杆空压机主机大修,机头转子维修及各品牌空压机维修保养等售后服务,拥有实力强大的维修团队,24小时上门服务。 空压机的大修包括的内容...

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11-28

高真空吸附泵的概述及使用条件

普通表面或多孔材料对气体的物理吸附或吸收可用来获得高真空。可以在任一压强下利用吸附或吸收技术,但由于实际上的限制,它只作为某种特殊应用,在真空技术中发展起来。 为了消除油封机械泵产生的碳氢化合物污...

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12-13

制冷设备中真空泵的结构及常见故障

修理空调及制冷设备时,修理人员常用真空泵对系统抽真空,真空度应达到-0.1MPa保持24h,真空度没有显著升高即可。 1.真空泵的结构和工作原理 常用的真空泵为旋片式真空泵,它是使用泵油密封的一种机械泵,其结构如...

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01-22

空压机各部件使用设置技巧

一、空压机压力调节器的整定 卸载压力用上面的调节螺栓来进行调整,将螺栓顺时针旋转,卸载压力提高,逆时针旋转卸载压力降低。压差值用其底部的差动旋钮来进行调整,逆时针旋转,空压机压差值减少,顺时针旋转,...

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05-02

武汉空压机储气罐上的压力阀在哪里检测?

武汉空压机储气罐上的压力阀在哪里检测?可以到武汉当地特种设备检验院进行检验,也可以找武汉当地有资质的检验机构进行检验,或咨询卖空压机储气罐的商家。

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12-11

干燥机如何合理保养 才能保障各个细节的到位

干燥机如何合理保养以提升生产效率,通过哪些操作上的改进,尤其是每天进行的项目。方式上的优化,省去一些错误带来的损失。执行过程中,很多人员并没有认识到该内容的重要性,检查的全面,和发现的及时,均是所...

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