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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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05-31

在武汉买螺杆空压机找哪家公司好点?

在武汉买螺杆空压机找哪家公司好点?武汉公司空压机从事螺杆空压机,变频空压机等空压机销售及武汉空压机维修保养,依托售前、售中、售后服务体系,为企业提供压缩空气系统解决方案。 空压机选型步骤: 1、确定...

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08-05

选购永磁变频螺杆空压机前这4点不能忽略

永磁变频螺杆空压机取代易损件多、可靠性差的活塞式空压机,是如今空压机市场的趋势。在螺杆式空压机中,有双螺杆与单螺杆两种。现在市场上普遍使用的是双螺杆的空压机,在设计上双螺杆更加合理、稳定。武汉空压...

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08-17

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法: 1、进气质量达不到指定标准 处理方法:调整进气压力和温度 2、再生气量太小 处理方法:调节再生气阀门(一定确保两组开合程度一致),或联系贝腾售后服务人员 3、...

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09-07

武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点

传统的活塞空压机运用范围广,方便做高压,排气温度达到200摄氏度,冷却效果不好,活塞环沾到油污,易磨损,阀拍漏气,缸套磨损,振动大,噪音高,下面武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点。 活塞空压机优...

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12-12

移动螺杆空压机对润滑油的要求

移动螺杆机的特点是: (1)能便于经常移动,工作条件多变,负荷变化大。 (2)多属重负荷、中速或低速传动,大都要求频繁起动,并经常承受冲击负荷; (3)野外环境恶劣、潮湿、有岩尘、煤尘及瓦斯,有的还有含硫的有害...

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11-15

螺杆式空压机成发展的新主流 具有较多的优点

螺杆式空压机成为当年空气压缩机发展的新主流,具有优越而且可靠的性能,其振动小.噪音低.效率高无易损件,与同等排气压力下的活塞式压缩机相比,具有无可比拟的优点。阴阳转子间以及转子与机体外壳间的精密配合...

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10-27

无热再生干燥机两罐不切换的原因

无热再生干燥机两罐不切换的原因: 1.程序控制器堵塞: 电磁阀不工作(用铁器碰电磁头无吸引力)。 2.消音器堵塞: 当电磁阀开启,高压罐卸压时气流受阻,致使受压差驱动的梭阀不能及时切换,变成三通,经消音器...

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09-22

空压机朝着节能环保的步伐迈进

随着我国多年的不断发展,目前国内空压机产品经过不断努力,研发出能够满足各类产品生产加工的空压机。不仅如此,如今空压机也正在朝着节能环保的方向迈步向前。 国内空压机市场已经在中规模的扩张中,并且一直保...

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04-24

空压机的冷却器该如何清洗

武汉空压机厂家告诉你,空压机的冷却器该如何清洗,大部分人都是不知道清洗冷却器的方法,胡乱的去弄这样会对冷却器造成伤害,而且还会出现洗不干净或者有着残留,今天科莱德武汉空压机小编就来跟大家说说...

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12-11

干燥机如何合理保养 才能保障各个细节的到位

干燥机如何合理保养以提升生产效率,通过哪些操作上的改进,尤其是每天进行的项目。方式上的优化,省去一些错误带来的损失。执行过程中,很多人员并没有认识到该内容的重要性,检查的全面,和发现的及时,均是所...

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05-25

武汉1立方空压机价格大约需要多少钱?

武汉1立方空压机价格大约需要多少钱?活塞式空压机低档的2500-3000,中档的4000元左右,高档的6500元左右。螺杆空压机价格也相差很大,6000-4万都有!主要看什么品牌及配置等相关而定。

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10-27

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09-14

空压机水管结垢的影响和处理方法

空压机水管结垢的影响: 1、对机器本身是一种损坏,因为它是由长时间沉积的矿物质形成,如果一直不清理的话,会导致空压机的零部件被腐蚀。 2、空压机在工作时会产生很多的热,需要及时的排出和冷却,如果管道上...

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08-28

空压机正确操作使用安全注意事项与维护保养

空压机正确操作使用安全注意事项: 1.操作、维修和保养空压机配件必须由具有资质的人员进行。 2.压缩机不可反转。初次启动或电控系统检修后,在压缩机启动之前必须首先确认电动机旋转方向是否与规定转向一致。 3....

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05-17

武汉空压机出租多少钱一天?

武汉空压机出租多少钱一天?租赁空压机要根据功率、排气量、省电等看是哪种型号,才能知道大概的价格。租一天的价格不好说啊,单说租的价格肯定是不会贵的,主要是将空压机运输过去的成本和安装的成本,说实话,...

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01-16

冷干机为什么需要热气旁通阀?如何选择有效的热气旁通阀

低温对很多设备都很不利,对冷干机也是如此。在热气旁通阀的帮助下,可以保证冷干机制冷系统在佳温度下工作,而不会损害系统健康。就像在寒冷的冬天给冷干机穿上了一件华丽的大衣。 冷干机为什么需要热气旁通阀?...

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11-17

离心式压缩机的优缺点

在石油.化工.动力.冶金等领域,使用的大型离心式压缩机,除要求压力特别高的以处,特别是用蒸汽轮机或烟气轮机驱动的离心压缩机与用电动机驱动的压缩机相比,有明显的住优势,在空压机保养时也比较方便,因为石油...

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01-20

真空应用中的前级真空泵

可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以...

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08-30

在潮湿的雨季下该怎么维护保养空压机

在潮湿的雨季下,这将产生多余的水分,上升的温度也将增加湿度,这可能会对空压机造成困扰。当相对湿度超过50%时,在压缩空气系统中会发生腐蚀。过多的液体会积聚起来,导致细菌生长,堵塞和潜在的泄漏。 湿空气...

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10-27

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