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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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12-23

空压机含水含油怎么办

螺杆空压机产生的压缩空气是不纯净的。这是因为空气压缩机本身含有润滑油,在进行压缩工作时,必然有部分润滑油混入到压缩空气中去。而且自然界的空气本身含有一些固体颗粒及水份等,当在气动回路中直接使用这种...

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11-27

再生气量对干燥机效率有什么影响

再生气量对干燥机效率有何影响对空压机保养来说,再生气就是清洗气,其作用是将干燥剂所吸附的水分解吸并带出干燥塔。 再生方式的不同决定了所选择的再生气回流比的不同。无热再生式干燥因其所需的解吸能全部来自...

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03-21

武汉东西湖区天发空压机经营部怎么样?

武汉东西湖区天发空压机经营部怎么样?武汉市东西湖区天发空压机经营部成立于2015年10月16日,注册地位于武汉市东西湖区现代五金机电城28栋6号,法人代表为吴晖。经营范围包括空压机、风动工具、气动工具销售、维...

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05-20

武汉空压机租赁公司哪家好?

武汉空压机租赁公司哪家好?武汉空压机出租公司为广大用户提供高性能可靠及规格齐全的空压机租赁服务,为您提供的租赁方案经济实惠、灵活机动,将为你的业务带来更具价值。 空压机租赁型号: 8公斤/5立方、8公斤...

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04-20

武汉哪里有卖变频空压机?

武汉哪里有卖变频空压机?武汉空压机销售公司是一家从事永磁变频螺杆空压机,永磁变频双级压缩螺杆空压机,永磁变频低压螺杆空压机等变频空压机销售、服务于一体的武汉空压机公司,产品质量放心,售后服务贴心。 ...

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01-10

空压机LPC控制的基本功能

1、多形式运转: A、单机主动气调/电调运转:在气调与电调间主动调换 B 、联机主动气调运转:无电调动作 C 、手动气调/电调运转:气调与电调间手动调换 螺杆空压机气调运转:在轻载状况(重载状况制止发动),电...

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09-19

武汉空压机分享螺杆空压机余热回收工作流程

想知道目前螺杆空压机的市场有两大类别的空压机余热回收工作流程吗?利用技术是在不改变空压机原有工作状态的前提下合理利用空压机余热,通过水泵将冷却水经过冷热交换器把空压机的热油迅速冷却下来,将这部分余...

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03-21

武汉江夏区宇豪空压机经营部怎么样?

武汉江夏区宇豪空压机经营部怎么样?武汉市江夏区宇豪空压机经营部成立于2005年06月08日,注册地位于武汉市江夏区纸坊街武昌大道493号,法人代表为桑秀芳。经营范围包括空压机及配件零售。

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10-27

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05-11

武汉阿特拉斯空压机价格怎么样

武汉阿特拉斯空压机价格怎么样?阿特拉斯空压机属于瑞典企业,在空压机领域属于老大级别,阿特拉斯就空压机质量好,事故率低,这样说吧您花5万块买一个管5年还经常修的空压机还是要一个可以使用至少10年以上的空...

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12-01

活塞式压缩机的优缺点

活塞式压缩机的优点: 1.适用压力范围广,活塞式压缩机从低压到超高压都适用,目前工业上使用的高工作压力近350mpa,实验室中使用的压力则更高。 2.热效率高,由于 工作原理的不现,活塞式压缩机比螺杆式压缩机效...

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05-21

武汉斯尔达压缩机技术有限公司怎么样?

武汉斯尔达压缩机技术有限公司怎么样?武汉斯尔达压缩机技术有限公司成立于2018年05月15日,注册地位于武汉市黄陂区横店街夏教村夏家当村特1号,法人代表为彭壮。经营范围包括从事压缩机技术领域内的技术开发、技...

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12-01

往复式真空泵的零件―气缸概述

就结构形式言,压缩机的气缸是极为多种多样的。按照压力、输气量、型式、压缩机的方案与用途、冷却的方式、用以制造气缸的材料、制造上的可能性与制造厂的传统习惯,气缸可以制成各种形式。 气缸的受热是不均匀...

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04-24

空压机出现的几种状态都让人难以忍受

人会生病,机械设备用久了也一样会坏,所以空压机也不例外。空压机作为企业制造与生产的一大能源动力,在各行各业中也起着相当大的作用,但是如果使用不当,再好的机器使用寿命也不会长久。空压机出现的几种状...

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08-28

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04-24

永磁变频螺杆空压机各个配件的正确保养与维护

1.永磁变频空压机进气空滤芯的维护与保养 空气滤清器是滤除空气尘埃污物的部件,过滤后的干净空气进入螺杆转子压缩腔压缩。因螺杆机内部间隙只允许15u以内的颗粒滤出。如果空滤芯堵塞破损,大量大于15u的颗粒物...

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05-15

武汉明俊空气压缩机制造有限公司怎么样?

武汉明俊空气压缩机制造有限公司怎么样?武汉明俊空气压缩机制造有限公司成立于2009年10月10日,注册地位于孝感市孝南区长河开发区,法人代表为李俊。经营范围包括空气压缩机、配件及各种内动工具制造销售;仓储...

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01-06

螺杆空压机的行业应用

电力是一个国家更重要的能源之一,也是国民经济建设和日常生活的命脉。无论使用任何形式发电,电站中都离不开压缩空气。按照发电行业不同类型、不同的场合,应选择不同品质等级的压缩空气。 所谓不同类型是指电力...

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10-27

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08-11

螺杆空压机运转过程分三个阶段及工作原理三维动画

螺杆空压机运转过程分三个阶段: 吸气:阳转子的齿连续脱离阴转子的齿槽,齿间容积逐渐扩大,气体经吸气孔口进齿间容积,当齿间容积达到大值时,齿间容积与吸气孔口断开,封闭,吸气过程结束。此时阳和阴转子的齿...

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