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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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10-27

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12-19

小型空压机设备管理考核量化常用指标

小型空压机设备管理考核量化常用指标 有的工厂看到维修人员经常闲着没事,喝茶、抽烟、休息,觉得心里很不均衡,就想用工作量来考核维修人员,结果却适得其反。维修人员修的设备总是留下尾巴和后遗症,不时有维修...

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10-28

空压机断水后的处理方法

空气压缩机后处理设备为水冷处理的所需要的配备设施有:中间过滤器,空压机油冷却器等。 中间冷却的的主要工作就是降低温度,让压缩机的排气温度控制在设定的范围内,那么如果断水后中间冷却器将得不到冷却,这时...

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04-24

四大常见武汉空压机运用

1.压缩气体用于制冷和气体分离 气体经紧缩、冷却、胀大而液化,用于人工制冷(冷冻冷藏及空气调节等)如氨或氟利昂武汉空压机。其紧缩压力多为8~12公斤/平方厘米,这一类空压机一般变成“制冷机”或“冰机”。...

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12-31

带真空泵发电机回油管堵塞会造成不良后果

发电机真空泵工作时,所用机油来自柴油机主油道,真空泵工作后机油则应回到柴油机油底壳,若发电机真空泵回油堵塞会造成: (1)机油回不畅,使真空泵转子叶片易破碎,真空度下降或无真空。 (2)机油回不畅,使发电...

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09-11

螺杆压缩机无法自动启动故障原因及解决方法

螺杆压缩机无法自动启动故障原因及解决方法: 故障现象及可能原因 故障排除方法 电源未接通; 闭合上电源开关以接通电源。 控制回路保险丝熔断; 更换保险丝,找出原因并加以解决。 排气温度过高引起高...

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09-05

风稿、凿岩机、潜孔钻机的不同之处

风稿、凿岩机、潜孔钻机都属于矿山机械,但它们之间有着实质性的区别,从大小上看,购入的体积小,其次就是凿岩机,潜孔钻机体积大。针对不同的矿山,各自发挥着自己的优势为用户服务。 风镐相当于小型的爆破机,...

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08-28

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01-02

真空系统中蒸气压与温度的关系

当一个不漏的真空系统暴露于空气后再抽气时,如它未被烘烤,则分压分析器将在质量18(H2O)处显示出更高峰。这种情形会延续数周成数月。 作为温度函数的水蒸汽压的表指出,在室温附近,温度一般增加12℃时则蒸气压...

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10-27

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09-19

武汉空压机分享螺杆空压机余热回收工作流程

想知道目前螺杆空压机的市场有两大类别的空压机余热回收工作流程吗?利用技术是在不改变空压机原有工作状态的前提下合理利用空压机余热,通过水泵将冷却水经过冷热交换器把空压机的热油迅速冷却下来,将这部分余...

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04-24

螺杆压缩机行业技术已经加速迭代发展!

近几年,压缩机市场风云变幻,云谲风诡,但深究之下,隐于其后的除了企业战略之外,更重要的是各家企业正以加速度发展技术。 作为压缩机行业从业者,应该去感知这场悄无声息而来的技术迭代趋势。 纵观国内压缩机...

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09-09

如何正确更换空压机油封的注意事项

如何正确更换空压机油封?空压机油封更换有很多的注意事项,如果油封密封性不好的话,会出现漏油或者是不能正常使用的情况。所以,一定要确保以下内容的正确性。 1、油封的安装方向不能弄错,在实际中有用户咨询...

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09-04

武汉空压机总结各种空压机报警故障信息和处理方法

空压机是一种工业生产经常需要用到的产品,如果出现问题了不用慌张,武汉空压机给您总结了各种空压机报警故障信息和处理方法,让您在遇到问题时参考解决。 1.信号屏“事故信号电源消失”光字牌亮:原因可能是中央信...

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09-01

空压机日常维护检查的三种方法

为了确保空压机正常运转延长使用寿命除定期维护检修外,日常的维护检查非常重要。除了用各种仪表测知空压机的运转变化外,通常还用看、听、摸的方法来检查。但这三种方法也不是孤立的,而是互相联系的,单凭其中...

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04-24

中法就氢储能技术发展合作交换意见

在近几天,国家发改委副主任、国家能源局局长努尔·白克力在武汉会见法国前总理拉法兰一行,双方就中国能源政策和能源发展情况、氢储能技术发展和中法企业在储能领域的合作前景等交换了意见。   据了解...

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12-02

真空泵安全瓶的改进

真空泵安全瓶的改进 为防止真空泵进水,可在抽气瓶塞上面增加1个T形管, T形管进气口上接一段橡皮管和1个夹子。抽气瓶塞下面接1个单自动活塞,活塞芯下端用线绳固定在1个钉有小铁钉的木板上,当抽气瓶进水时如接触...

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09-07

武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点

传统的活塞空压机运用范围广,方便做高压,排气温度达到200摄氏度,冷却效果不好,活塞环沾到油污,易磨损,阀拍漏气,缸套磨损,振动大,噪音高,下面武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点。 活塞空压机优...

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10-31

螺杆式空压机试运转步骤是什么?

螺杆式空压机试运转步骤是什么?螺杆式空压机试运转步骤做好首次启动前的检查。 1.确认压缩机的安装及配管满足所有要求。 2.确认供电线无误,接好接地线,松开防震台支撑架或电机上运输固定螺栓, 3.检查油气桶内...

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01-08

主真空系统的系统构成

真空气相干燥设备中的真空系统包括主真空系统和泄漏泵系统两部分。 ①系统构成主真空系统的构成如图1所示、主要由主泵(罗茨真空泵)、前级泵(旋片式真空泵或滑阀式真空泵)、前级冷凝器、中间冷凝器、排气分离器、水...

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