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在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
12-04
1.空压机冷却系统和气路系统必须要实现自动联动控制,可按照准确的程序进行启动、停机,这样能提高操作的准确性和安全系数。 2.压缩机控制系统更好具备手动控制和远程控制的方式。远程控制:能对系统运行的状态进...
09-14
中高压空压机有二种冷却方式:一种是冷却风扇冷却;一种是水循环冷却。空气经压缩之后温度比较高,需要经过冷却,否则设备会因高温跳机。水循环冷却的介质就是净循环水,通过水的流动及水温来减低空气温度。 在设...
01-12
水环真空泵与压缩机就其本身结构来说是完全一样的.其区别仅在于用途的不同。 (1)真空泵是使与泵的进口相连接的装置或系统造成一定的真空,被真空泵所抽吸的空气或其他气体,通常就排至大气中,因此真空泵的排出...
03-21
武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?武汉市鹰王压缩机有限责任公司成立于1996年01月03日,注册地位于江岸区冯家墩208号,法人代表为水涛。经营范围包括空气压缩机、空压机后处理器、普通机械配件制造、销售;空压...
10-27
08-29
武汉空压机总结螺杆空压机漏油与过热的主要原因与解决方法: 螺杆空压机漏油的主要原因与解决方法: 1、空压机漏油,要注意观察油封部位,检查油封是否有龟裂、内唇口有无开裂或翻边。有上述情况之一的应更换;检...
07-06
加装变频器的螺杆空压机的电气控制可分为两个系统:一个为内部控制系统;另一个为启动盘部分。启动盘乃是由一般电机常用的Y-△启动控制。而控制部分则为电子式控制,电子控制部分由于内部线路及控制较复杂。 变频...
12-26
超高真空机组工作在10-6~10-10Pa超高真空压力范围,除了要求真空室的材料出气率很低、漏气率很小、能经受200~450℃高温烘烤外,对机组的要求还有: (1)主泵的极限真空要高.至少在10-7~10-8Pa以上; (2)在超...
04-24
近年来,武汉空压机在工业上应用极为广泛。武汉空压机因其用途广泛而被称为“通用机械”。根据压缩气体的使用性质不同的特点可分为不同的型号。使用的压力不同具有的作用也有差别。压缩空气为动力的武汉空压机具...
08-28
11-27
喷射泵是利用流体流动时范静压能与动能相互转换的原理来吸、送沉体的,既可用于吸送气体,也可用于吸送液体。在化工生产中,喷射泵常用于抽真空,故又称为喷射式真空泵。 喷射泵的工作流体可以是蒸汽,也可以是液...
12-02
真空泵安全瓶的改进 为防止真空泵进水,可在抽气瓶塞上面增加1个T形管, T形管进气口上接一段橡皮管和1个夹子。抽气瓶塞下面接1个单自动活塞,活塞芯下端用线绳固定在1个钉有小铁钉的木板上,当抽气瓶进水时如接触...
02-09
2019年空压机和储气罐都涨价了吗?目前由于钢材等原材料价格不断上涨,导致储气罐和空压机价格也居高不下,且还有上涨的趋势。预计本周内原材料还会持续增长。这也是目前各行各业的一个整体趋势。无论是什么行业...
01-04
1、开机运行到正常温度持续一小时 2、关机 3、排去油箱, 冷却器和所有过滤器中的油 4、加入新更换的油至运转所需的更小油量(如:1/2容积) 5、开机并运行到正常操作温度持续一小时。在这一小时中, 每15分钟开启并...
10-27
11-10
说到空压机对空气质量有什么要求。我们就要先知道空气的主要组成成分,空气为多种气体的混合物。大至可分为,氮.氧.二氧化碳和水气灰尘等。压缩机属于高精密度配合的设备,在现在工业生产中对压缩气体的要求可以...
09-15
空压机设备内零部件众多。不同的空压机配件的拆卸方法也不同。例如各类阀件、电机、喷油泵等部件在拆卸时有很多注意事项。以下是武汉空压机简单分享关于空压机配件的一些拆卸技巧和方法。 1.拆卸荷阀时先拆除固定...
03-21
武汉东西湖区天发空压机经营部怎么样?武汉市东西湖区天发空压机经营部成立于2015年10月16日,注册地位于武汉市东西湖区现代五金机电城28栋6号,法人代表为吴晖。经营范围包括空压机、风动工具、气动工具销售、维...
12-21
真空泵的抽气速率是指单位时间排出气体的体积.常用单位为升·秒(L·S) 1、名义抽速 名义抽速是旋片泵出厂的标牌抽速。按国家标准.旋片泵的名义抽速已经规格化了。 2、几何抽速 几何抽速是旋片泵在额定转...
01-20
可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以...