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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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07-06

加装变频器的螺杆空压机控制系统维护主要事项

加装变频器的螺杆空压机的电气控制可分为两个系统:一个为内部控制系统;另一个为启动盘部分。启动盘乃是由一般电机常用的Y-△启动控制。而控制部分则为电子式控制,电子控制部分由于内部线路及控制较复杂。 变频...

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04-24

螺杆式空气压缩机冷却器清洗原因及处理方法

螺杆式空气压缩机冷却器清洗由于规模,规模是由水在温度变化,如果没有处理规模,将影响螺杆式空气压缩机冷却器正常的传热效果,降低压缩质量和气体量。因此,武汉空压机之家小编建议应该制定详细的螺杆空压机...

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11-05

空压机容量设计要求

空气压缩机的型号、台数和不同空气品质,压力的供气系统,应根据供气要求.压缩空气负荷,经技术经济方案比较后确定。压缩空气站内,压缩机的台数宜为3-6台。对同一品质.压力的供气系统,空气压缩机的型号不宜超过...

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10-27

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04-05

武汉奇人压缩机维修服务有限公司怎么样?

武汉奇人压缩机维修服务有限公司怎么样?武汉奇人压缩机维修服务有限公司成立于2009年09月14日,注册地位于武汉市汉阳区汉阳大道365号,法人代表为张砚纯。经营范围包括空调设备、暖通设备、净水设备、空气净化设...

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12-03

旋片式真空泵污染及处理

在旋片式真空泵使用过程中颗粒状物质和蒸气或液体构成令人讨厌的污染。 由于泵机构本身固有的自我补偿间隙调整作用,所以它对小的机构损伤不特别敏感。在多数设计中,所选择的滑动轴承比球轴承对灰尘的敏感性小...

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03-21

武汉哪里有卖空压机?哪里买比较好?

武汉哪里有卖空压机?哪里买比较好?武汉空压机从事螺杆空压机,变频空压机等空压机销售及武汉空压机维修保养,依托售前、售中、售后服务体系,为企业提供压缩空气系统解决方案,竭诚欢迎各位业务洽谈! 选择空...

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01-07

药用化学常用基本仪器之真空泵

一、概述 真空泵是实验室更常用的设备之一,常在对真空度要求较高的场合下使用。真空泵的效能取决于泵的结构及油的好坏(油的蒸气压越低越好),好的真空泵能抽到10~100Pa的真空度。油泵的结构越精密,对工作条件的...

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01-19

往复式真空泵的活塞概述

往复式真空泵中开式(筒形)活塞图是采用在小型的,无滑块的压缩机中。 压拐机工作时,作用于速杆上的力的垂吐分力,将活塞压向气a的表面,而且垂吐分力的址大值N更大是相应于压出开始时。在活塞侧面上的升算单位压...

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08-26

空压机润滑油的作用和使用误区

空压机润滑油的作用和使用误区都有哪些?空压机对润滑油的要求十分严格苛刻。因此,正确地选用空压机油进行合理的润滑是保证空压机安全稳定运行的重要措施。下面武汉空压机小编就来总结分享下空压机润滑油的作用...

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05-22

武汉无油空压机价格多少钱一台?

武汉无油空压机价格多少钱一台?看似很简单的一个问题,其实是较难回答。因为购买无油空压机涉及到客户所购买的品牌、规格、功率、排气量、压力等需求,单无油空压机价格来讲从几千到几十万都有的。 目前来说,1....

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09-07

武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点

传统的活塞空压机运用范围广,方便做高压,排气温度达到200摄氏度,冷却效果不好,活塞环沾到油污,易磨损,阀拍漏气,缸套磨损,振动大,噪音高,下面武汉空压机浅析传统活塞空压机的优点和缺点。 活塞空压机优...

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09-21

柴油移动空压机管理维护小常识

我们除了对柴油移动空压机在生产上就安全问题进行精心的设计之外,在日常的管理与维护上仍需要我们的操作人员,按照正常的方式管理与维护好机器,以下武汉空压机小编总结的几点: 1、机器的操作人员在操作之前一...

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08-11

螺杆空压机运转过程分三个阶段及工作原理三维动画

螺杆空压机运转过程分三个阶段: 吸气:阳转子的齿连续脱离阴转子的齿槽,齿间容积逐渐扩大,气体经吸气孔口进齿间容积,当齿间容积达到大值时,齿间容积与吸气孔口断开,封闭,吸气过程结束。此时阳和阴转子的齿...

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05-19

武汉江压压缩机销售有限公司怎么样?

武汉江压压缩机销售有限公司怎么样?武汉江压压缩机销售有限公司成立于2007年04月03日,注册地位于武昌区紫阳路241号3栋1单元401号,法人代表为马继军。经营范围包括压缩机、印刷机及配件批零兼营及维修;机械电...

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11-29

稀油金属冶金要求中真空机组的配置

真空系统获得真空的过程称为抽真空,也叫做抽气或排气。在规定的气压下单位时间抽出的气体体积称为抽气速率,即抽速.也可以叫做泵速,单位是L/S.泵或某一真空系统在排气足够长的时问后所能达到的更低气压称为极限...

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08-28

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05-26

武汉空压机储气罐在哪里检测?(压力表/安全阀)

武汉空压机储气罐在哪里检测?可以到武汉当地特种设备检验院进行检验,也可以找武汉当地有资质的检验机构进行检验,或咨询卖空压机储气罐的商家。 空压机储气罐的压力要多大才需报检: 众所周知储气罐属于压力容...

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11-29

空压机润滑油可以混用吗?如何防止润滑油混用

武汉某电厂有两台螺杆式压缩机,规格为18.5kw,风冷机组.电机转速1480转每分钟。该厂共安装有10空气压缩机,采用厂家提供的原装空压机油,由于润滑油价格较高,所以用了替代油品,替代油品同样为合成油,为安全起...

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01-01

离心泵和往复式真空泵性能上的区别

离心泵 往复式真空泵 1、离心泵液流不流动。 2、更高压头值决定于叶轮直径和轴的转数,而且不会超过由这些参数所确定的一定值。 3、在大流量下尺寸并不大。 4、开动前需要灌泵。 5、是和电动机或蒸汽透...

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