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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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11-10

空压机对空气质量有什么要求?

说到空压机对空气质量有什么要求。我们就要先知道空气的主要组成成分,空气为多种气体的混合物。大至可分为,氮.氧.二氧化碳和水气灰尘等。压缩机属于高精密度配合的设备,在现在工业生产中对压缩气体的要求可以...

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08-05

选购永磁变频螺杆空压机前这4点不能忽略

永磁变频螺杆空压机取代易损件多、可靠性差的活塞式空压机,是如今空压机市场的趋势。在螺杆式空压机中,有双螺杆与单螺杆两种。现在市场上普遍使用的是双螺杆的空压机,在设计上双螺杆更加合理、稳定。武汉空压...

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12-20

真空电炉用真空泵的详解

保证高度的真空除需要炉子的可靠的气密性及真空管道以外,还需要有合适的真空泵设备。 对真空泵的要求是根据进行还原周期的条件而提出的。炉内装加压块及炉子关闭以后,必须抽出炉膛内的空气。然后,随着装料的...

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11-11

空压机气体液化应注意凝液的分离和排除

空压机气体液化是气体在压缩过程中可能会有液化发生,因此应注意凝液的分离和排除。 对于活塞式压缩机空压机气体液化,为了避免撞缸事故,压缩机的各级汽缸余隙容积都应略大一些,凝液多的其出口气阀应放在汽缸下...

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08-28

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10-27

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01-16

冷干机为什么需要热气旁通阀?如何选择有效的热气旁通阀

低温对很多设备都很不利,对冷干机也是如此。在热气旁通阀的帮助下,可以保证冷干机制冷系统在佳温度下工作,而不会损害系统健康。就像在寒冷的冬天给冷干机穿上了一件华丽的大衣。 冷干机为什么需要热气旁通阀?...

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03-21

武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?

武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?武汉市鹰王压缩机有限责任公司成立于1996年01月03日,注册地位于江岸区冯家墩208号,法人代表为水涛。经营范围包括空气压缩机、空压机后处理器、普通机械配件制造、销售;空压...

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08-26

空压机润滑油的作用和使用误区

空压机润滑油的作用和使用误区都有哪些?空压机对润滑油的要求十分严格苛刻。因此,正确地选用空压机油进行合理的润滑是保证空压机安全稳定运行的重要措施。下面武汉空压机小编就来总结分享下空压机润滑油的作用...

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12-11

干燥机如何合理保养 才能保障各个细节的到位

干燥机如何合理保养以提升生产效率,通过哪些操作上的改进,尤其是每天进行的项目。方式上的优化,省去一些错误带来的损失。执行过程中,很多人员并没有认识到该内容的重要性,检查的全面,和发现的及时,均是所...

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11-25

空压机机头怎么清洗方法?为什么要清洗空压机机头

空压机机头也称为转子,是压缩机的核心配件,为了更换的保护好设备以及延长空压机主机大修的时,能够定期的对机头进行清洗是非常有必要的。因为压缩机的转子属于高精密度配合工作的配件,如企业没有这方面的经验...

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11-20

螺杆式压缩机管道的安装注意事项

螺杆式压缩机所产生的震动很小,帮不需做基础。但其所放置的地面应平整(机组的底面应填平),地下应为硬质土壤,地面宜采用混凝土磨平,以免因地面不平产生振动。 为连接管道和维护空压机保养方便,机组应放置于...

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12-10

在使用空气压缩机时应该注意些什么事项

空气压缩机的全名是空气压缩机,是压缩气体的设备。在使用空气压缩机时我们应该注意些什么呢? 操作前 1、油量:空气压缩机操作前应检查注油器内的油量不应低于刻度线值。 2、检查各运动部位、各联接部位、润滑系...

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01-03

英格索兰变频空压机选购的注意事项

变频空压机节能、环保、高效这些优点一般对空压机行业稍有了解的人都会知道,但如何选择合适的变频空压机却不是所有人都知道的,下面武汉螺杆空压机小编就来为大家好好介绍下吧. 1.稳. 随着经济的复苏,国内大部...

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09-01

使用空压机特易犯润滑油选错及刮油环误装

使用空压机时容易出现的意外的错误做法有哪些?您知道吗?就是空压机的润滑油选错及刮油环误装了;下面武汉空压机小编为您浅谈说明; 空压机润滑油选错: 客户对润滑油的认知只要是油就可以了,因此导致不注重油...

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11-12

蒸发温度过低是什么原因引起的?

蒸发温度过低,通常有很多原因,经武汉空压机小编分析大概会有一些几点: 1.设计上的足导致蒸发器换热面积不够。 2.压缩机的功率太大出在制冷系统不能供应足够的冷媒。 3.蒸发器铜管表面结霜影响传热,压缩空气含...

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08-17

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法: 1、进气质量达不到指定标准 处理方法:调整进气压力和温度 2、再生气量太小 处理方法:调节再生气阀门(一定确保两组开合程度一致),或联系贝腾售后服务人员 3、...

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10-27

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05-05

武汉7.5kw螺杆式空压机价格大概多少钱?

武汉7.5kw螺杆式空压机价格大概多少钱?国内品牌对比外资品牌会比较便宜一点,另外空压机价格和空压机的功率有着直接的关系,功率越大,价格也会高一些,7.5kw的空压机价格不会太贵,7000左右的样子,另外,买空...

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12-09

往复式真空泵的一般性能及其应用

往复式真空泵有它特殊的性能,概述如下: 1.排送液体可达到任何所需高度及任何压力而不受限制,从泵的排送冲程分析可知,只要泵的活塞有足够的压力,即其原动机能拾予足够的能量而泵及管路的材料又具有足够的强度...

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