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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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10-27

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11-20

螺杆式压缩机管道的安装注意事项

螺杆式压缩机所产生的震动很小,帮不需做基础。但其所放置的地面应平整(机组的底面应填平),地下应为硬质土壤,地面宜采用混凝土磨平,以免因地面不平产生振动。 为连接管道和维护空压机保养方便,机组应放置于...

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05-25

武汉1立方空压机价格大约需要多少钱?

武汉1立方空压机价格大约需要多少钱?活塞式空压机低档的2500-3000,中档的4000元左右,高档的6500元左右。螺杆空压机价格也相差很大,6000-4万都有!主要看什么品牌及配置等相关而定。

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10-27

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11-29

稀油金属冶金要求中真空机组的配置

真空系统获得真空的过程称为抽真空,也叫做抽气或排气。在规定的气压下单位时间抽出的气体体积称为抽气速率,即抽速.也可以叫做泵速,单位是L/S.泵或某一真空系统在排气足够长的时问后所能达到的更低气压称为极限...

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09-09

空压机润滑油更换的前提:严禁各种品牌机油混用

空压机润滑油更换的前提:严禁各种品牌机油混用!下面武汉空压机为你总结分享空压机换油的四大注意事项如下: ,为了保护湖南空压机设备能够正常工作,延长使用寿命时间,旧机器在换油之前应先对管路进行彻底清洗...

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04-24

空压机的冷却器该如何清洗

武汉空压机厂家告诉你,空压机的冷却器该如何清洗,大部分人都是不知道清洗冷却器的方法,胡乱的去弄这样会对冷却器造成伤害,而且还会出现洗不干净或者有着残留,今天科莱德武汉空压机小编就来跟大家说说...

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04-24

选购空压机的时候该注意什么事项?

在选购空压机的时候该注意什么事项呢?大家对于选购空压机的方法知道多少呢?可能有些人觉得只要气量、压力足够就好了,或者觉得越贵的就越好,虽然说贵的是会要好点,但是它的其他性能方面也是要去考虑的,有...

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11-13

空压机转子维修的那些注意事项

空压机转子轴向向间隙测量之后,如需要进行轴向间隙的调整,则相应的在出口端定位片处增加垫片,一般定位片没有明显磨损就不需要调整。 另外SKF圆锥滚子轴承安装后如轴承安装不到位或锁紧紧力不足会造成进口端轴...

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11-03

螺杆式空压机润滑油系统的主要作用

螺杆式空压机润滑油系统的主要作用: 1.润滑油主要有润滑.冷却.密封.降噪.减振等作用。 2.润滑油可以在转子之间形成油膜,避免了转子间的接触,减少摩擦。润滑油产生的油膜能对压缩空气起到密封作用,提高了压缩...

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01-16

冷干机为什么需要热气旁通阀?如何选择有效的热气旁通阀

低温对很多设备都很不利,对冷干机也是如此。在热气旁通阀的帮助下,可以保证冷干机制冷系统在佳温度下工作,而不会损害系统健康。就像在寒冷的冬天给冷干机穿上了一件华丽的大衣。 冷干机为什么需要热气旁通阀?...

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11-23

旋片式真空泵的使用注意事项

(1)使用旋片式真空泵前,按油标指示刻度加入真空泵油。旋转三通阀,使泵的吸气管与大气相通,而与被抽空容器隔绝,打开排气口。 (2)用手转动皮带轮,检查运转情况,无异常情况后,再接通电源,注意转动方向。 (3)...

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04-24

无油空压机耐用吗?

无油空压机耐用吗? 无油空气压缩机(英文为:oil-free air compressor)是气源装置中的主体,它是将原动机的机械能转换成气体压力能的装置,是压缩空气的气压发生装置。 随着人们对压缩空气的质量要求越来越高...

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03-02

国内新建的空分项目主要分为内压缩与外压缩两种流程

由于冶金、化工行业的迅速发展,空分设备的订货量非常大。更多的新技术在空分设备中的应用,使客户面对较多种选择,如何选择适合自己的空分设备非常重要。空分设备按主要用户来分,可以分为冶金型和化工型。按工...

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05-21

武汉斯尔达压缩机技术有限公司怎么样?

武汉斯尔达压缩机技术有限公司怎么样?武汉斯尔达压缩机技术有限公司成立于2018年05月15日,注册地位于武汉市黄陂区横店街夏教村夏家当村特1号,法人代表为彭壮。经营范围包括从事压缩机技术领域内的技术开发、技...

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08-11

螺杆空压机运转过程分三个阶段及工作原理三维动画

螺杆空压机运转过程分三个阶段: 吸气:阳转子的齿连续脱离阴转子的齿槽,齿间容积逐渐扩大,气体经吸气孔口进齿间容积,当齿间容积达到大值时,齿间容积与吸气孔口断开,封闭,吸气过程结束。此时阳和阴转子的齿...

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10-27

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12-01

活塞式压缩机的优缺点

活塞式压缩机的优点: 1.适用压力范围广,活塞式压缩机从低压到超高压都适用,目前工业上使用的高工作压力近350mpa,实验室中使用的压力则更高。 2.热效率高,由于 工作原理的不现,活塞式压缩机比螺杆式压缩机效...

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12-13

制冷设备中真空泵的结构及常见故障

修理空调及制冷设备时,修理人员常用真空泵对系统抽真空,真空度应达到-0.1MPa保持24h,真空度没有显著升高即可。 1.真空泵的结构和工作原理 常用的真空泵为旋片式真空泵,它是使用泵油密封的一种机械泵,其结构如...

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09-21

柴油移动空压机管理维护小常识

我们除了对柴油移动空压机在生产上就安全问题进行精心的设计之外,在日常的管理与维护上仍需要我们的操作人员,按照正常的方式管理与维护好机器,以下武汉空压机小编总结的几点: 1、机器的操作人员在操作之前一...

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