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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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05-27

武汉艾格莱压缩机有限公司怎么样?

武汉艾格莱压缩机有限公司怎么样?武汉艾格莱压缩机有限公司成立于2014年01月02日,注册地位于武昌区武珞路528号A座21层5号,法人代表为王春。经营范围包括空气压缩机零售、维修;压缩机零部件设计、制作、零售;...

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03-30

武汉欧仕格压缩机有限公司怎么样?

武汉欧仕格压缩机有限公司怎么样?武汉欧仕格压缩机有限公司成立于2019年11月12日,注册地位于武汉东湖新技术开发区光谷大道303号光谷·芯中心一期1-01栋3层04室08号(一址多照),法人代表为喻尊刚。经营范围包括压...

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04-30

库泰润科压缩机技术(武汉)有限公司怎么样?

库泰润科压缩机技术(武汉)有限公司怎么样?库泰润科压缩机技术(武汉)有限公司成立于2019年11月12日,注册地位于湖北省武汉市黄陂区滠口街富兴道100号,法人代表为王敏。经营范围包括从事压缩机配件的设计、制造及...

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01-12

水环真空泵与压缩机就其结构的不同

水环真空泵与压缩机就其本身结构来说是完全一样的.其区别仅在于用途的不同。 (1)真空泵是使与泵的进口相连接的装置或系统造成一定的真空,被真空泵所抽吸的空气或其他气体,通常就排至大气中,因此真空泵的排出...

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05-23

武汉中加天然气压缩机有限责任公司怎么样?

武汉中加天然气压缩机有限责任公司怎么样?武汉中加天然气压缩机有限责任公司成立于2006年06月14日,注册地位于武汉市江夏区金水工业园特1号,法人代表为吴元庆。经营范围包括天然气压缩机组和天然气处理设备的制...

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04-24

冷冻式干燥机介绍

  一、冷干机工作原理   空气经压缩后变成高温、高压超市的压缩气体,这些压缩气体中虚心含有大量气态的水分、油分、尘埃等杂质如不有效去除,将会直接影响您的产盘质量、生产成本和经济效益。  二、冷干机的主...

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11-20

螺杆式压缩机管道的安装注意事项

螺杆式压缩机所产生的震动很小,帮不需做基础。但其所放置的地面应平整(机组的底面应填平),地下应为硬质土壤,地面宜采用混凝土磨平,以免因地面不平产生振动。 为连接管道和维护空压机保养方便,机组应放置于...

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11-16

预冷器在冷干机中的作用

预冷器在冷干机里的主要作用是“回收”被蒸发器冷却后的压缩空气所携带的冷量(对绝大多数压缩机用户来讲这部分冷量属“废冷”),并用这部分冷量来冷却携带大量水蒸气的较高温度的压缩空气。 从而减轻了冷干机制冷系...

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01-11

真空泵表面清洁的重要性

在真它系统的暴露表面上单一层单分子层气体的气体里基本上就是一个无限的气源,这使真空泵处于满负荷工作状态。可见光的波长为5x10-5cm左右,而单分子层中分子之间的间隔为10-7cm。了解这一点可以更突出单分子层...

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03-21

武汉哪里有卖空压机?哪里买比较好?

武汉哪里有卖空压机?哪里买比较好?武汉空压机从事螺杆空压机,变频空压机等空压机销售及武汉空压机维修保养,依托售前、售中、售后服务体系,为企业提供压缩空气系统解决方案,竭诚欢迎各位业务洽谈! 选择空...

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04-24

武汉空压机的过载故障维修内容有哪些?

武汉空压机机组一直处于热备状态,当系统的供气压力低于武汉空压机机组的设定值时机组才会启动,是一种电机过载故障。在一般的情况下我们需要进行检查机身以及运行状态来分析与调整维修,主要的武汉空压机电机...

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08-28

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01-10

空压机LPC控制的基本功能

1、多形式运转: A、单机主动气调/电调运转:在气调与电调间主动调换 B 、联机主动气调运转:无电调动作 C 、手动气调/电调运转:气调与电调间手动调换 螺杆空压机气调运转:在轻载状况(重载状况制止发动),电...

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04-24

中法就氢储能技术发展合作交换意见

在近几天,国家发改委副主任、国家能源局局长努尔·白克力在武汉会见法国前总理拉法兰一行,双方就中国能源政策和能源发展情况、氢储能技术发展和中法企业在储能领域的合作前景等交换了意见。   据了解...

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11-11

空压机气体液化应注意凝液的分离和排除

空压机气体液化是气体在压缩过程中可能会有液化发生,因此应注意凝液的分离和排除。 对于活塞式压缩机空压机气体液化,为了避免撞缸事故,压缩机的各级汽缸余隙容积都应略大一些,凝液多的其出口气阀应放在汽缸下...

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09-19

武汉空压机介绍如何选购螺杆式空压机

市场上的螺杆式空压机产品可谓五花八门,让人在选购的时候不知道如何挑选螺杆式空压机。那么到底哪种品牌的螺杆式空压机产品好呢?武汉空压机为大家介绍一下如何选购螺杆式空压机,让您在选购的时候有所参考,轻...

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01-31

空压机的储气罐进口出口接反会怎样

空压机的储气罐进口出口接反会怎样?空压机储气罐是连接在空气压缩机后面,起到排水、除油、稳压作用的压力容器设备。储气罐的罐体上有几个口,分别是进出口,检查口,配件安装口等。 其中有两个重要的口是进气口...

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01-22

空压机各部件使用设置技巧

一、空压机压力调节器的整定 卸载压力用上面的调节螺栓来进行调整,将螺栓顺时针旋转,卸载压力提高,逆时针旋转卸载压力降低。压差值用其底部的差动旋钮来进行调整,逆时针旋转,空压机压差值减少,顺时针旋转,...

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02-24

吸附式干燥机配置过滤器的作用是什么呢?

在压缩空气系统中,吸附式干燥机很少单独使用,通常会在吸附式干燥机进气口前配置两支过滤器,在排气口后配置一支过滤器,几乎在所有气动管网中干燥器都是与过滤器配合使用的。这既是为了满足用气质量的需要,也...

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04-24

永磁变频螺杆空气压缩机的节能时代

A.永磁电机 在任何负载下始终保持96%以上的效率,相比普通低昂及节能38%以上,比感应式变频电机更节能10%以上。 采用同轴一体结构设计,不需要采用皮带、齿轮、联轴等传动元件,完全无传动损失,传动达到100%。 ...

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