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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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12-12

移动螺杆空压机对润滑油的要求

移动螺杆机的特点是: (1)能便于经常移动,工作条件多变,负荷变化大。 (2)多属重负荷、中速或低速传动,大都要求频繁起动,并经常承受冲击负荷; (3)野外环境恶劣、潮湿、有岩尘、煤尘及瓦斯,有的还有含硫的有害...

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11-20

螺杆式压缩机管道的安装注意事项

螺杆式压缩机所产生的震动很小,帮不需做基础。但其所放置的地面应平整(机组的底面应填平),地下应为硬质土壤,地面宜采用混凝土磨平,以免因地面不平产生振动。 为连接管道和维护空压机保养方便,机组应放置于...

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08-28

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12-03

旋片式真空泵污染及处理

在旋片式真空泵使用过程中颗粒状物质和蒸气或液体构成令人讨厌的污染。 由于泵机构本身固有的自我补偿间隙调整作用,所以它对小的机构损伤不特别敏感。在多数设计中,所选择的滑动轴承比球轴承对灰尘的敏感性小...

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01-20

真空应用中的前级真空泵

可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以...

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03-03

油分芯破损时会发现空压机耗油非常严重

当油分芯破损时会发现空压机耗油非常严重,而且在储气罐和管路中会有大量的油份。严重时在储气罐排污阀排放时直接排出空压机油。

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01-25

传统制氮方法主要是以深冷、分子筛、膜空分制氮这三种比较突出

近来我们一直都在讲制氮机的特点、应用及原理等知识,现在我们不聊制氮机,来聊聊传统的制氮方法,传统的制氮方法主要是以深冷空分制氮、分子筛空分制氮(PSA或变压吸附式)、膜空分制氮(中空纤维膜分离)这三种比...

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04-25

各地税务部门正利用税收数据牵线搭桥 助力湖北加快复产复销

湖北复工复产,有的企业面临原材料供应、产品销售、资金运转等难题。国家税务总局24日介绍,各地税务部门正利用税收数据牵线搭桥,“一对一”帮扶湖北企业打通供应链、产销链、资金链上的痛点堵点,助力湖北加快复...

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04-24

解析未来空压机主要立足于三个方面

空压机厂家工作人员解析未来空压机主要立足于三个方面:   新型空压机的节能性是进入市场的重要因素,绿色影响力主要是让空压机企业认识到这方面节能的重要性和紧迫性,可以占有一定的市场地位。   其实,空...

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12-19

小型空压机设备管理考核量化常用指标

小型空压机设备管理考核量化常用指标 有的工厂看到维修人员经常闲着没事,喝茶、抽烟、休息,觉得心里很不均衡,就想用工作量来考核维修人员,结果却适得其反。维修人员修的设备总是留下尾巴和后遗症,不时有维修...

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12-03

空气压缩机不加载的主要原因及具体检修方法

空气压缩机不加载的原因:对于空气压缩机不加载问题,先要先确定是不是空压机保养时间以超过了规定的时间,如果不是应先检查分享器与卸荷阀是否存在泄漏现象, 重点应放在小压力阀上,加载不成功。压力调节器断基...

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11-04

螺杆式压缩机的6大优点

螺杆式压缩机属于容积型压缩设备,有往复式压缩机的特点 。就运动形式,螺杆式压缩机的转子与其它设备是不同的,所以螺杆式压缩机兼有者的特点,下面武汉空压机小编总结螺杆式压缩机的6大优点如下: 1.螺杆式压缩...

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04-25

螺杆空压机配置储气罐时需要注意哪些事项?

活塞式空压机一般都会有自带的储气罐,可以不用配置储气罐,而螺杆空压机就需要配置储气罐,螺杆空压机的正常工作时离不开储气罐的。螺杆空压机负责压缩空气,储气罐用来储存压缩空气,还可以缓冲减压,稳定空压...

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09-23

武汉空压机介绍高压空压机中几个重要的零部件

一台高压空压机是由多个零部件组成的,每一个零部件都有属于它的“使命”,下面武汉空压机简单的讲述一下高压空压机的几个重要部件名称: 压缩机:这个是高压空压机系统不可或缺的一个部件,有风冷跟水冷之分,一般...

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04-24

干燥设备海外并购步伐加快 结合政策优势为上策

业内有关人士表示:如果把并购行动比喻为我国许多干燥机设备企业在欧洲市场的‘诺曼底登陆’,那么并购成功仅仅是抢占了滩头阵地。能否进一步扩大战果,实现纵深目标,取决于能否把新组建的公司经营好,迅速发展...

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06-08

武汉木工用的空压机多少钱一台?

武汉木工用的空压机多少钱一台?,大概800-2000就足够了。木工装修用的空压机一般是便携式活塞空压机,其排气量不大,可以随手就拖走。在这里一般建议大家购买2.5匹的空压机,如果有喷漆要求的话,可以在购买大一...

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09-18

喷油螺杆空压机润滑油术语

喷油螺杆空压机润滑油术语: 1、闪点: * 油气会点燃的低温度。 * 闪点较高的油,更适合于空压机水解稳定性。 * 当水和某些液体组合时,会产生酸。 * 水解稳定性就是在有水存在的情况下,阻止性变化的能力 2、氧...

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12-16

空压机常见故障及处理方法

1、空气输出温度过高 (1)降低螺杆空压机空气输入温度。增加空压机房的通风,在房的房顶加排气罩,用来排除热气,控制室内温度不要过高。夏季,空压机房的温度不要超过40℃。 (2)降低冷却水的输入温度,冬季水温保...

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12-27

如何选择国产螺杆空压机

面对市场上各式各样不同功效的螺杆空压机,很多用户对螺杆空压机的选型上无法有一个确切的认识,有时候是因为对不同螺杆空压机的功效和性能不能完全了解,而导致无法合理选型,无法选择可靠、高效、节能的螺杆空...

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11-10

空压机对空气质量有什么要求?

说到空压机对空气质量有什么要求。我们就要先知道空气的主要组成成分,空气为多种气体的混合物。大至可分为,氮.氧.二氧化碳和水气灰尘等。压缩机属于高精密度配合的设备,在现在工业生产中对压缩气体的要求可以...

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