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在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。
01-12
水环真空泵与压缩机就其本身结构来说是完全一样的.其区别仅在于用途的不同。 (1)真空泵是使与泵的进口相连接的装置或系统造成一定的真空,被真空泵所抽吸的空气或其他气体,通常就排至大气中,因此真空泵的排出...
12-22
图1 单喷嘴油扩散泵 扩散泵的结构原理如图1,底部为蒸发器,内贮有扩散泵油。上部为进气口,右侧旁管为出气口,在工作时出气口处由机械泵提供前置真空。当油被电炉加热时,产生的油蒸汽沿着导 流管经伞形喷...
12-02
真空泵安全瓶的改进 为防止真空泵进水,可在抽气瓶塞上面增加1个T形管, T形管进气口上接一段橡皮管和1个夹子。抽气瓶塞下面接1个单自动活塞,活塞芯下端用线绳固定在1个钉有小铁钉的木板上,当抽气瓶进水时如接触...
12-11
在决定装置一个真空系统时,首先要确定下面3个问题: (1)被抽容器的体积, (2)应该达到的真空度; (3)抽除的是哪一种气体(或蒸汽)。 有了这些基本要求,加上必须的管道,就可以决定要哪一种规格(通常以极限真空和...
05-04
武汉空压机维修保养哪家好?武汉空压机提供各品牌空压机维修,空压机保养等空压机售后服务,完整的服务体系,24小时上门服务。全力为客户降低成本,并保持维修后的高品质。 空压机维修保养工作内容: 1. 根据机...
01-06
电力是一个国家更重要的能源之一,也是国民经济建设和日常生活的命脉。无论使用任何形式发电,电站中都离不开压缩空气。按照发电行业不同类型、不同的场合,应选择不同品质等级的压缩空气。 所谓不同类型是指电力...
12-11
干燥机如何合理保养以提升生产效率,通过哪些操作上的改进,尤其是每天进行的项目。方式上的优化,省去一些错误带来的损失。执行过程中,很多人员并没有认识到该内容的重要性,检查的全面,和发现的及时,均是所...
09-10
对于日常运维空压机设备来说,空压机主机维修保养是一个非常重要步骤,因为主机不能正常工作直接导致无法供气进而影响到生产,而对于螺杆空压机机头卡死原因我们武汉空压机服务团队都是有非常的技术工程师的维修...
09-20
空压机温度过高怎么解决处理?如果我们在使用空压机时,出现空压机温度高出常规限制,与此故障现象关联的因素有很多,只要能够找到真正的问题所在,故障解决会更加容易。所以,查找过程中必须做到全面,提升判断...
08-28
04-24
武汉空压机在使用一段时间之后肯定会有一些大大小小的问题或者故障,那么导致武汉空压机产生故障的原因是什么呢?下面就由小编为您讲解一下。 一、电机过载的主要原因 武汉空压机严重堵塞;小压...
10-27
11-17
在石油.化工.动力.冶金等领域,使用的大型离心式压缩机,除要求压力特别高的以处,特别是用蒸汽轮机或烟气轮机驱动的离心压缩机与用电动机驱动的压缩机相比,有明显的住优势,在空压机保养时也比较方便,因为石油...
05-19
武汉江压压缩机销售有限公司怎么样?武汉江压压缩机销售有限公司成立于2007年04月03日,注册地位于武昌区紫阳路241号3栋1单元401号,法人代表为马继军。经营范围包括压缩机、印刷机及配件批零兼营及维修;机械电...
12-27
面对市场上各式各样不同功效的螺杆空压机,很多用户对螺杆空压机的选型上无法有一个确切的认识,有时候是因为对不同螺杆空压机的功效和性能不能完全了解,而导致无法合理选型,无法选择可靠、高效、节能的螺杆空...
02-24
在压缩空气系统中,吸附式干燥机很少单独使用,通常会在吸附式干燥机进气口前配置两支过滤器,在排气口后配置一支过滤器,几乎在所有气动管网中干燥器都是与过滤器配合使用的。这既是为了满足用气质量的需要,也...
12-09
往复式真空泵有它特殊的性能,概述如下: 1.排送液体可达到任何所需高度及任何压力而不受限制,从泵的排送冲程分析可知,只要泵的活塞有足够的压力,即其原动机能拾予足够的能量而泵及管路的材料又具有足够的强度...
06-02
武汉三叶空气压缩机制造有限公司怎么样?武汉三叶空气压缩机制造有限公司成立于2000年07月10日,注册地位于硚口区常码头450号,法人代表为刘怀胜。经营范围包括空气压缩机及其配件的制造销售;金属结构件加工...
01-20
可以为那些不能直接向大气排气的另外的泵提供所必需的前级压强的泵称为前级泵。其中,有一些泵能以两种方式工作,有时排入大气,有时排入减压的前级压强中。 概述 将气体从低压强区域输送至大气压的抽气装置可以...
04-24
业内有关人士表示:如果把并购行动比喻为我国许多干燥机设备企业在欧洲市场的‘诺曼底登陆’,那么并购成功仅仅是抢占了滩头阵地。能否进一步扩大战果,实现纵深目标,取决于能否把新组建的公司经营好,迅速发展...