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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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08-08

武汉空压机总结吸附式干燥机压力显示异常的原因及处理方法

武汉空压机总结吸附式干燥机压力显示异常的原因及处理方法: 1、压力传感器损坏 处理方法:更换新的压力传感器 2、电磁阀组泄露或堵塞 处理方法:清洁电磁阀座及消音器,如有损坏,必须更换 3、气管堵塞或断裂 处...

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03-21

武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?

武汉鹰王压缩机有限责任公司怎么样?武汉市鹰王压缩机有限责任公司成立于1996年01月03日,注册地位于江岸区冯家墩208号,法人代表为水涛。经营范围包括空气压缩机、空压机后处理器、普通机械配件制造、销售;空压...

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09-18

螺杆空压机的节能及运行维护

螺杆空压机的节能及运行维护: 一、改造前的设备状况 青岛啤酒四厂有2台20m3/min螺杆空压机和2台10m3/min螺杆空压机,其工作原理是由一对相互平行啮合的阴阳转子在气缸内转动,使转子齿槽之间的空气不断地产生周...

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05-03

武汉二手空压机哪里卖?

武汉二手空压机哪里卖?本公司虽然从事空压机销售及空压机维修保养服务,在经验多年的过程中,会偶然的遇到部分客户生意不好,顺手帮客户卖或顺带做起了二手空压机生意。若想长期使用建议不要购买二手的,不稳定...

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03-21

武汉空压机哪家好?

武汉空压机哪家好?请咨询我们,毕竟武汉空压机供应商实在是太多了,各种各样的供应商参差不齐。那么作为普通企业用户来说,在武汉如何找到适合自己的空压机供应商尤为重要。 面对市场上各式各样不同功效的压缩...

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06-03

武汉开盛压缩机有限公司怎么样?

武汉开盛压缩机有限公司怎么样?武汉开盛压缩机有限公司成立于2019年11月07日,注册地位于武汉市江夏区郑店街廖桥村黄质老屋39号,法人代表为陈珍容。经营范围包括机电设备、通讯设备、机械设备、电气设备、空气...

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09-12

空压机变频节能改造的方法和效益分析

空压机变频改造的方法有三种,一种是改善电机的启动和运行方式,一种是减少空压机的耗气量,还有一种是使用变频器进行节能改造。 一、改善电机的启动和运行方式 改变空压机的齿轮箱和传动皮带,使电机运转时不再...

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05-17

武汉空压机出租多少钱一天?

武汉空压机出租多少钱一天?租赁空压机要根据功率、排气量、省电等看是哪种型号,才能知道大概的价格。租一天的价格不好说啊,单说租的价格肯定是不会贵的,主要是将空压机运输过去的成本和安装的成本,说实话,...

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11-26

预防真空泵损坏的注意事项

在间隙不大的情况下,当温度升高时,真空泵盖子会膨胀,而泵壳却会阻止盖子的膨胀。由于此,泵壳内便会产生很大的应力,甚至使它爆裂。 为了防止真空泵由于温度应力而损坏,应该注意下列几点: (1)很好地把真空泵...

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09-01

使用空压机特易犯润滑油选错及刮油环误装

使用空压机时容易出现的意外的错误做法有哪些?您知道吗?就是空压机的润滑油选错及刮油环误装了;下面武汉空压机小编为您浅谈说明; 空压机润滑油选错: 客户对润滑油的认知只要是油就可以了,因此导致不注重油...

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04-24

永磁变频螺杆空压机各个配件的正确保养与维护

1.永磁变频空压机进气空滤芯的维护与保养 空气滤清器是滤除空气尘埃污物的部件,过滤后的干净空气进入螺杆转子压缩腔压缩。因螺杆机内部间隙只允许15u以内的颗粒滤出。如果空滤芯堵塞破损,大量大于15u的颗粒物...

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08-11

螺杆空压机运转过程分三个阶段及工作原理三维动画

螺杆空压机运转过程分三个阶段: 吸气:阳转子的齿连续脱离阴转子的齿槽,齿间容积逐渐扩大,气体经吸气孔口进齿间容积,当齿间容积达到大值时,齿间容积与吸气孔口断开,封闭,吸气过程结束。此时阳和阴转子的齿...

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10-27

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08-28

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10-27

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10-27

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10-31

螺杆式空压机试运转步骤是什么?

螺杆式空压机试运转步骤是什么?螺杆式空压机试运转步骤做好首次启动前的检查。 1.确认压缩机的安装及配管满足所有要求。 2.确认供电线无误,接好接地线,松开防震台支撑架或电机上运输固定螺栓, 3.检查油气桶内...

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02-15

如何根据气动工具的耗气量来选择空压机

如何根据气动工具的耗气量来选择空压机?空气压力比较简单,一般有8个大气压(115Psi)的,也有高压的如12个大气压(175Psi),这个假如没有特别要求的话一般8个大气压就已经足够. 空压机的气流量是由功率决定的,功率有1...

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11-28

空气压缩机小修包括那些内容?

空压机维修又分为小修、中修和大修它们之间只有大概的区分,并无的界线,而且各个使用单位的具体情况也不相同,所以划分不一,那么空气压缩机小修包括那些内容?一般小修的内容就是消除压缩机的个别缺陷和更换一...

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02-18

武汉空压机讲讲制氮机专用空气加热器具有怎么样的特点?

制氮机专用空气加热器具有怎么样的特点?我们都知道变压吸附制氮机包括成对的并行连接的吸附塔、进气总阀、吸附塔进气阀、产品氮气出口总阀、吸附塔产品氮气出口阀、消音器、吸附塔解吸气出口阀、连接吸附塔的均...

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