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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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10-27

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04-25

空压机窜油怎么回事?是什么原因?

大多数需要润滑油才工作的机器都有可能发生窜油漏油现象。空压机在运转时,在空气滤清器及排气口或储气罐防水过量时有机油溢出即为空压机的蹿油现象。出现这种毛病的原因可能是回油受阻,空压机冷却不完全,运转...

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11-09

空气压缩机压缩空气站环境要求有哪些?

空气压缩机购置后,不能随便找个位置安装就行,选择良好的安装场所是正确使用空气压缩机的先决条件,缺少事前规划往往千成压缩机使用不当等严重后果。 1.设备应安装在周围环境清凉,空气温度低,灰尘少的地方。若...

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10-27

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05-27

武汉艾格莱压缩机有限公司怎么样?

武汉艾格莱压缩机有限公司怎么样?武汉艾格莱压缩机有限公司成立于2014年01月02日,注册地位于武昌区武珞路528号A座21层5号,法人代表为王春。经营范围包括空气压缩机零售、维修;压缩机零部件设计、制作、零售;...

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01-18

真空泵及压气机容量的决定

洗涤干燥过程很复杂,研究还不彻底,可大约按下列定额选取: 真空泵 压气机 圆筒式 0.5~1.5米3空气/米2过滤面积,分 0.1~0.4米3空...

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11-02

压力容器变形的类型较多 主要有3大类

变形是压力容器使用过程中出现的主要缺陷之一,这在空压机维修时经常可以见到的,变形的类型较多。鼓胀和鼓包,都属于变形。导致这原因主要是: 1.变形的类型不同,影响不同。钝物撞击形成的机械鼓包,模具不妥产...

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11-25

空压机机头怎么清洗方法?为什么要清洗空压机机头

空压机机头也称为转子,是压缩机的核心配件,为了更换的保护好设备以及延长空压机主机大修的时,能够定期的对机头进行清洗是非常有必要的。因为压缩机的转子属于高精密度配合工作的配件,如企业没有这方面的经验...

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08-28

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01-13

如何选择变频空压机

原材料、能源费用、人力资源等各方面的上涨,让企业投入和收入比例失调,像空压机这类耗电量惊人的设备,企业将如何面对?今天小编为您介绍一种新型的空压机——变频空压机。就可以解决企业难题,不过这类空压机价...

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11-03

螺杆式空压机润滑油系统的主要作用

螺杆式空压机润滑油系统的主要作用: 1.润滑油主要有润滑.冷却.密封.降噪.减振等作用。 2.润滑油可以在转子之间形成油膜,避免了转子间的接触,减少摩擦。润滑油产生的油膜能对压缩空气起到密封作用,提高了压缩...

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11-12

蒸发温度过低是什么原因引起的?

蒸发温度过低,通常有很多原因,经武汉空压机小编分析大概会有一些几点: 1.设计上的足导致蒸发器换热面积不够。 2.压缩机的功率太大出在制冷系统不能供应足够的冷媒。 3.蒸发器铜管表面结霜影响传热,压缩空气含...

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01-10

空压机LPC控制的基本功能

1、多形式运转: A、单机主动气调/电调运转:在气调与电调间主动调换 B 、联机主动气调运转:无电调动作 C 、手动气调/电调运转:气调与电调间手动调换 螺杆空压机气调运转:在轻载状况(重载状况制止发动),电...

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09-06

中压空压机吸附式干燥机的优缺点

现在市面上中压空压机吸附式干燥机一般有二种无热吸附式干燥机和微热吸附式干燥机,下面武汉空压机简单的描述下中压空压机吸附式干燥机各自的优缺点: 1、从除水效果来看,微热吸附式干燥机除水效果要好得多,压...

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11-20

螺杆式压缩机管道的安装注意事项

螺杆式压缩机所产生的震动很小,帮不需做基础。但其所放置的地面应平整(机组的底面应填平),地下应为硬质土壤,地面宜采用混凝土磨平,以免因地面不平产生振动。 为连接管道和维护空压机保养方便,机组应放置于...

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12-17

针对水环式真空泵在使用中出现的问题及解决方案

1、原因分析 解体检查,发现水环式真空泵泵体所有过流面腐蚀、磨损严重,前后端盖出现破洞。经过分析认为主要是因为泵吸入SO2烟气,造成循环水酸化,生成H2SO4,从而对泵体过流面造成腐蚀、磨损.其次泵体材料为...

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11-30

真空泵操作注意事项

真空系统启动时,要先用机械泵将系统抽至低真空,再接通扩散泵冷凝水.然后逐渐加热使油沸腾并正常回流后再启动油扩散泵。关闭油扩散泵时.需先切断加热器电源,待油停止沸腾后再关冷凝水,再关闭扩散泵前后两个活...

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05-01

离心空压机故障原因及对策

离心空压机广泛应用于众多的工况企业中,是企业的关键设备,在企业生产中占有重要地位。离心压缩机的安全运转能够促进企业的安全生产,对企业的持续发展有重要意义。然而,压缩机的故障问题常常会给企业带来严重...

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09-06

空压机安全阀的作用和常见故障

对于空压机来说,安全阀是整个机器的安全控制部件,所以安全阀一旦出现任何问题一定要及时修复,否则有可能出现重大事故。空压机安全阀的主要作用是保证空压机中的压力值维持在正常的范围内,只有当压力超出正常...

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05-22

武汉无油空压机价格多少钱一台?

武汉无油空压机价格多少钱一台?看似很简单的一个问题,其实是较难回答。因为购买无油空压机涉及到客户所购买的品牌、规格、功率、排气量、压力等需求,单无油空压机价格来讲从几千到几十万都有的。 目前来说,1....

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