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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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12-11

真空泵和真空规的选择

在决定装置一个真空系统时,首先要确定下面3个问题: (1)被抽容器的体积, (2)应该达到的真空度; (3)抽除的是哪一种气体(或蒸汽)。 有了这些基本要求,加上必须的管道,就可以决定要哪一种规格(通常以极限真空和...

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04-24

干燥设备海外并购步伐加快 结合政策优势为上策

业内有关人士表示:如果把并购行动比喻为我国许多干燥机设备企业在欧洲市场的‘诺曼底登陆’,那么并购成功仅仅是抢占了滩头阵地。能否进一步扩大战果,实现纵深目标,取决于能否把新组建的公司经营好,迅速发展...

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12-24

旋片真空泵气镇阀的工作原理

气镇阀是旋片式真空泵为抽除可凝性气体而设置的通常,泵抽除的气体为性气体和可凝性气体的混合物.在压缩和排气的过程中.当可凝性气体的分压超过泵温对应的该气体饱和蒸气压时,可凝性气体会凝结并混于泵油中.随泵...

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01-10

空压机LPC控制的基本功能

1、多形式运转: A、单机主动气调/电调运转:在气调与电调间主动调换 B 、联机主动气调运转:无电调动作 C 、手动气调/电调运转:气调与电调间手动调换 螺杆空压机气调运转:在轻载状况(重载状况制止发动),电...

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03-24

武汉7.5千瓦空压机保养价格大概多钱?

武汉7.5千瓦空压机保养价格大概多钱?空压机保养看品牌来分,有进口和国产空压机,而且还分大保与小保,价格也不一样。一般7.5千瓦空压机小保养,正规的公司一般价格都在2000-3000,当然,如果低端品牌的空压机可...

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08-28

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04-27

武汉空压机出租哪家比较便宜?

武汉空压机出租哪家比较便宜?本公司从事空压机销售及空压机出租赁多年,总结认为过于便宜的背后不仅仅是售后服务体验,更是影响生产进度的体现。建议多对比几家,切莫贪小便宜,方能找到性价比高的空压机出租服...

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04-25

空压机窜油怎么回事?是什么原因?

大多数需要润滑油才工作的机器都有可能发生窜油漏油现象。空压机在运转时,在空气滤清器及排气口或储气罐防水过量时有机油溢出即为空压机的蹿油现象。出现这种毛病的原因可能是回油受阻,空压机冷却不完全,运转...

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02-03

变频式螺杆压缩机的节能分析及选型

变频式螺杆压缩机的节能分析及选型: 一、设计 螺杆压缩机的转子型线对节能有一定影响,2000年之前螺杆压缩机尚在成长期,可靠性是主要问题。那时,螺杆压缩机的转子型线研发把可靠性作为主要目标。 21世纪后能源...

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12-10

在使用空气压缩机时应该注意些什么事项

空气压缩机的全名是空气压缩机,是压缩气体的设备。在使用空气压缩机时我们应该注意些什么呢? 操作前 1、油量:空气压缩机操作前应检查注油器内的油量不应低于刻度线值。 2、检查各运动部位、各联接部位、润滑系...

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09-23

武汉空压机介绍高压空压机中几个重要的零部件

一台高压空压机是由多个零部件组成的,每一个零部件都有属于它的“使命”,下面武汉空压机简单的讲述一下高压空压机的几个重要部件名称: 压缩机:这个是高压空压机系统不可或缺的一个部件,有风冷跟水冷之分,一般...

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08-28

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05-13

武汉塞德那压缩机有限公司怎么样?

武汉塞德那压缩机有限公司怎么样?武汉塞德那压缩机有限公司成立于2002年06月07日,注册地位于武汉经济技术开发区经开万达广场二期第S3幢1-2层S55号房,法人代表为官华明。经营范围包括机械设备、机电设备、建筑...

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04-24

夏季高温,空压机应当如何做好防护措施?

夏天了,室外温度早已超过30℃了,可以想象,你要是没开风扇或空调,走着、坐着、躺着或者正在忙别的事,汗水止不住的流,都会觉得异常的难受,人如此,机器也不例外。空压机房本来就是一个环境比较热的地方,...

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08-17

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法

空压机吸附式干燥机露点过高的原因及解决方法: 1、进气质量达不到指定标准 处理方法:调整进气压力和温度 2、再生气量太小 处理方法:调节再生气阀门(一定确保两组开合程度一致),或联系贝腾售后服务人员 3、...

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10-27

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04-24

武汉空压机维修保养介绍空压机常见的磨损问题

武汉空压机维修保养介绍空压机常见的磨损问题: 1、疲劳磨损 有关空压机疲劳磨损的概念是上世纪提出的概念,两摩擦表面为点或线接触时,由于局部的弹性变形形成较小的接触区域。如果这些小区域形成的摩...

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09-18

喷油螺杆空压机润滑油术语

喷油螺杆空压机润滑油术语: 1、闪点: * 油气会点燃的低温度。 * 闪点较高的油,更适合于空压机水解稳定性。 * 当水和某些液体组合时,会产生酸。 * 水解稳定性就是在有水存在的情况下,阻止性变化的能力 2、氧...

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01-16

博莱特新型低螺杆空气压缩机亮相上海纺机展

博莱特(上海)压缩机有限公司(以下简称:博莱特)在第十八届上海国际纺织工业展ShanghaiTex2017上携新产品BLT-175AL低压螺杆空气压缩机亮相。 据公司销售总监寇仲介绍,这是博莱特次参加上海纺机展。本次展会带来...

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11-04

螺杆式压缩机的6大优点

螺杆式压缩机属于容积型压缩设备,有往复式压缩机的特点 。就运动形式,螺杆式压缩机的转子与其它设备是不同的,所以螺杆式压缩机兼有者的特点,下面武汉空压机小编总结螺杆式压缩机的6大优点如下: 1.螺杆式压缩...

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