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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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04-24

永磁变频空压机发展趋势

纵观永磁变频空压机发展历程,1社会上下广泛参与的有活塞式压缩机和螺杆压缩机,我们称之为活塞机时代和螺杆机时代。经过活塞机时代和螺杆机时代之后,随着市场竞争的升级和节能降耗国家新形式的要求,变频压缩...

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12-18

螺杆空压机使用需要注意哪些事项问题

一、螺杆空压机压力调节器的整定 卸载压力用上面的调节螺栓来进行调整。卸载压力提高,将螺栓顺时针旋转。逆时针旋转卸载压力降低。 压差值用其底部的差动旋钮来进行调整,逆时针旋转,空压机压差值减少,顺时针...

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09-11

武汉空压机总结螺杆空压机八步节能环保方法

武汉空压机总结螺杆空压机八步节能环保方法: 一、治理泄漏 据测算,一个1mm2的小孔,在7bar压力下,泄漏量约为1.5L/S,检查所有的输送管网及用气点,特别是接头、阀门等处,及时处理泄漏点。 二、压降治理 通过...

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01-08

主真空系统的系统构成

真空气相干燥设备中的真空系统包括主真空系统和泄漏泵系统两部分。 ①系统构成主真空系统的构成如图1所示、主要由主泵(罗茨真空泵)、前级泵(旋片式真空泵或滑阀式真空泵)、前级冷凝器、中间冷凝器、排气分离器、水...

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04-29

武汉木工用空压机哪里有卖?

武汉木工用空压机哪里有卖?武汉五金市场或机电市场都卖,木工装修用的空压机一般是便携式活塞空压机,其排气量不大,可以随手就拖走。在这里一般建议大家购买2.5匹的空压机,如果有喷漆要求的话,可以在购买大一...

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12-05

空压机润滑油的作用是什么?空压机对润滑油有哪些要求?

空压机是一种把机械能转换为气体压力的动力装置。常用于为风动工具提供气体动力,在石油化工、钻采、冶金等行业也常用于压送氧、氢、氨、天然气、焦炉煤气、惰性气体等介质。下面跟一起来武汉螺杆空压机小编了解...

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11-29

稀油金属冶金要求中真空机组的配置

真空系统获得真空的过程称为抽真空,也叫做抽气或排气。在规定的气压下单位时间抽出的气体体积称为抽气速率,即抽速.也可以叫做泵速,单位是L/S.泵或某一真空系统在排气足够长的时问后所能达到的更低气压称为极限...

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03-02

国内新建的空分项目主要分为内压缩与外压缩两种流程

由于冶金、化工行业的迅速发展,空分设备的订货量非常大。更多的新技术在空分设备中的应用,使客户面对较多种选择,如何选择适合自己的空分设备非常重要。空分设备按主要用户来分,可以分为冶金型和化工型。按工...

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01-28

吸附式干燥机用氧化铝和分子筛有什么区别?

活性氧化铝和分子筛是吸附式干燥机常用的吸附剂。那么吸附式干燥机用氧化铝和分子筛有什么区别?空分设备吸干机专用分子筛:因其在高温或者相对湿度很低的情况下,吸附水有能力远大于其它吸附剂。4A分子筛与活性...

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12-05

理想真空系统呈现的特性表现

根据气体运动论,当容器内气体温度恒定时,有PV=常数将上式对时间微分,并在泵以不变的体积速度S = dV/dt对容器抽空的条件下积分,这时,如果t=0时的压强为Po,便得p=p0e-(s/v)。 当系统内充以与器壁除反射外不...

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02-21

武汉空压机讲讲怎样实现连续生产高品质的氮气?

怎样实现连续生产高品质的氮气?武汉空压机将从以下几方面来一一讲解实现生产高品质的氮气。 (1)制氮机产氮气方便快捷:的技术,独特的气流分布器,使气流分布更均匀,高效地利用碳分子筛,20分钟左右即可提供合...

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01-05

抽气时间对于高真空系统的影响

设计高真空系统的基本考虑之一是将容器抽到给定压强所需的时间。这个时间范围通常是从几分钟到几个小时。然而,在某些情况下,所需的抽气时间可能是几秒钟或几天。用理论方法或试验方法来预计时间和压强的关系是...

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02-15

如何根据气动工具的耗气量来选择空压机

如何根据气动工具的耗气量来选择空压机?空气压力比较简单,一般有8个大气压(115Psi)的,也有高压的如12个大气压(175Psi),这个假如没有特别要求的话一般8个大气压就已经足够. 空压机的气流量是由功率决定的,功率有1...

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04-25

武汉宗盛压缩机技术服务有限公司怎么样?

武汉宗盛压缩机技术服务有限公司怎么样?武汉宗盛压缩机技术服务有限公司成立于2009年08月03日,注册地位于武汉市东西湖区辛安渡办事处徐家台1号(15),法人代表为李宗立。经营范围包括化工压缩机配件、空分配件、...

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04-24

永磁变频螺杆空压机各个配件的正确保养与维护

1.永磁变频空压机进气空滤芯的维护与保养 空气滤清器是滤除空气尘埃污物的部件,过滤后的干净空气进入螺杆转子压缩腔压缩。因螺杆机内部间隙只允许15u以内的颗粒滤出。如果空滤芯堵塞破损,大量大于15u的颗粒物...

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12-12

移动螺杆空压机对润滑油的要求

移动螺杆机的特点是: (1)能便于经常移动,工作条件多变,负荷变化大。 (2)多属重负荷、中速或低速传动,大都要求频繁起动,并经常承受冲击负荷; (3)野外环境恶劣、潮湿、有岩尘、煤尘及瓦斯,有的还有含硫的有害...

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11-23

旋片式真空泵的使用注意事项

(1)使用旋片式真空泵前,按油标指示刻度加入真空泵油。旋转三通阀,使泵的吸气管与大气相通,而与被抽空容器隔绝,打开排气口。 (2)用手转动皮带轮,检查运转情况,无异常情况后,再接通电源,注意转动方向。 (3)...

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11-25

空压机机头怎么清洗方法?为什么要清洗空压机机头

空压机机头也称为转子,是压缩机的核心配件,为了更换的保护好设备以及延长空压机主机大修的时,能够定期的对机头进行清洗是非常有必要的。因为压缩机的转子属于高精密度配合工作的配件,如企业没有这方面的经验...

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12-08

离心机零部件清洗按照步骤

根据离心机结构特点,来逐个的拆卸,有些油污较严重的需要浸泡,找好相应的容器,并且小部件放置在显眼的位置,避免遗忘。利用的工具,不能蛮力敲打,确保没有因用力不当而带来的损伤。 管道、密封件、阀、轴承等...

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05-15

武汉明俊空气压缩机制造有限公司怎么样?

武汉明俊空气压缩机制造有限公司怎么样?武汉明俊空气压缩机制造有限公司成立于2009年10月10日,注册地位于孝感市孝南区长河开发区,法人代表为李俊。经营范围包括空气压缩机、配件及各种内动工具制造销售;仓储...

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