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真空泵在半导体制造业中的运用

2019-12-25

在半导体制造业中有很多种不同的真空泵。我们把它们分成两类:初级泵和真空泵。初级泵有几种用途:在腔内创造近似中级真空(压力小于10-3托);清空多腔集成设备中接收硅片的区域(如真空锁);为真空泵抽气(见图1).真空泵用来获得压力范围10-3托到10-9托的和超真空。新型晶片厂中使用的现代真空泵是干性的,意味着其内部没有任何可能回流到工艺腔中沾污硅片的油或润滑剂。

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01-15

冷冻干燥过程中所用真空系统

真空系统是由真空容器、真空泵、真空阀、真空表、真空密封、冷凝器及管道等按一定要求组合而成。 (一)真空系统的基本要求 (1)根据冷冻干燥物料的需要,应能达到一定的极限真空和工作真空。极限真空是指系统无漏...

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12-18

螺杆空压机使用需要注意哪些事项问题

一、螺杆空压机压力调节器的整定 卸载压力用上面的调节螺栓来进行调整。卸载压力提高,将螺栓顺时针旋转。逆时针旋转卸载压力降低。 压差值用其底部的差动旋钮来进行调整,逆时针旋转,空压机压差值减少,顺时针...

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08-28

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08-28

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03-21

武汉凌达压缩机有限公司怎么样?

武汉凌达压缩机有限公司怎么样?武汉凌达压缩机有限公司成立于2011年05月17日,注册地位于武汉经济技术开发区全力北路188号,法人代表为文辉。经营范围包括生产和销售电冰箱压缩机、空调压缩机、除湿机压缩机、真...

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10-27

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05-18

武汉东方昌盛压缩机有限公司怎么样?

武汉东方昌盛压缩机有限公司怎么样?武汉市东方昌盛压缩机有限公司成立于2006年11月02日,注册地位于武汉市江汉区友谊路99号安顺佳园1层A-71号,法人代表为彭杏华。经营范围包括空压机及配件、气动工具、五金机电...

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02-21

武汉空压机讲讲怎样实现连续生产高品质的氮气?

怎样实现连续生产高品质的氮气?武汉空压机将从以下几方面来一一讲解实现生产高品质的氮气。 (1)制氮机产氮气方便快捷:的技术,独特的气流分布器,使气流分布更均匀,高效地利用碳分子筛,20分钟左右即可提供合...

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05-15

武汉明俊空气压缩机制造有限公司怎么样?

武汉明俊空气压缩机制造有限公司怎么样?武汉明俊空气压缩机制造有限公司成立于2009年10月10日,注册地位于孝感市孝南区长河开发区,法人代表为李俊。经营范围包括空气压缩机、配件及各种内动工具制造销售;仓储...

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08-26

空压机润滑油的作用和使用误区

空压机润滑油的作用和使用误区都有哪些?空压机对润滑油的要求十分严格苛刻。因此,正确地选用空压机油进行合理的润滑是保证空压机安全稳定运行的重要措施。下面武汉空压机小编就来总结分享下空压机润滑油的作用...

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11-19

空压机维护大致可以分为日常维护和维修

从工厂的空压机保养工作来看,压缩机的维护大致可以分为日常维护和维修。日常维护主要是由化工和机械.电气.仪表维护人员进行。 维修又可分为 计划维修和事故抢修,计划性维修要根据机器损坏的程度制定出维修周期...

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06-05

武汉空压机维修哪家公司更靠谱?

武汉空压机维修哪家公司更靠谱?我司从事螺杆空压机维修、空压机保养、螺杆空压机主机大修,机头转子维修及各品牌空压机维修保养等售后服务,拥有实力强大的维修团队,24小时上门服务。 空压机的大修包括的内容...

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11-29

稀油金属冶金要求中真空机组的配置

真空系统获得真空的过程称为抽真空,也叫做抽气或排气。在规定的气压下单位时间抽出的气体体积称为抽气速率,即抽速.也可以叫做泵速,单位是L/S.泵或某一真空系统在排气足够长的时问后所能达到的更低气压称为极限...

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01-15

吸附式干燥机进气温度过高会有什么影响?主要有2点原因

通常,干燥机厂家会在说明书上注明吸附式干燥机的进气温度不宜过高,一般要控制在40℃以下。一旦吸干机进气温度过高,就会造成干燥机吸附剂失效,影响压缩空气的露点温度(即干燥度)。虽然厂家三申五令地强调了干...

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10-30

空气干燥机是如何分类的?可分为三种

空气干燥机是如何分类的?空气干燥机按生产方式分类可分为三种:吸收式干燥机、吸附式干燥机和冷冻式干燥机。 1.吸收式干燥机:压缩空气被迫通过如干燥白垩.氯化钙等干燥剂,它们与湿气起反应形成的乳化液从干燥...

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09-18

螺杆空压机的节能及运行维护

螺杆空压机的节能及运行维护: 一、改造前的设备状况 青岛啤酒四厂有2台20m3/min螺杆空压机和2台10m3/min螺杆空压机,其工作原理是由一对相互平行啮合的阴阳转子在气缸内转动,使转子齿槽之间的空气不断地产生周...

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08-28

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08-14

武汉空压机总结空压机用电安全注意事项

空压机电气系统安全注意事项有哪些?下面武汉空压机总结空压机用电安全注意事项如下: 一、根据空压机的功率大小,选择正确粗壮的电源线径,不可使用细小的电源线。 二、需独立使用一套电力系统,需要避免和其他...

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09-19

武汉空压机分享螺杆空压机余热回收工作流程

想知道目前螺杆空压机的市场有两大类别的空压机余热回收工作流程吗?利用技术是在不改变空压机原有工作状态的前提下合理利用空压机余热,通过水泵将冷却水经过冷热交换器把空压机的热油迅速冷却下来,将这部分余...

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04-25

螺杆空压机配置储气罐时需要注意哪些事项?

活塞式空压机一般都会有自带的储气罐,可以不用配置储气罐,而螺杆空压机就需要配置储气罐,螺杆空压机的正常工作时离不开储气罐的。螺杆空压机负责压缩空气,储气罐用来储存压缩空气,还可以缓冲减压,稳定空压...

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