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扩散泵的工作原理

2019-12-22

图1 单喷嘴油扩散泵

扩散泵的结构原理如图1,底部为蒸发器,内贮有扩散泵油。上部为进气口,右侧旁管为出气口,在工作时出气口处由机械泵提供前置真空。当油被电炉加热时,产生的油蒸汽沿着导

流管经伞形喷嘴向下喷出。因喷嘴外面有机械泵提供的真空(10-2~10-3托),故油蒸汽流可喷出一长段距离,钩成一个向出气口方向运动的射流。射流更后碰上有冷却水冷却的器壁时,授结为液休,流回蒸发器,重新使用。

由进气口进入泵内的气体分子,一旦落入蒸汽流中,便获得向下运动的动更,往下飞去。由于射流具有高的速度(约每秒200米)、高的蒸汽密度(蒸汽压几至几十托),且扩散泵油具有高的分子量(350-500),故能有效地带走气体分子,因此在射流的界面内,气体分子不可能长期停留,其浓度很小。换言之,在射流界面的两边,被抽气体有很大的浓度差。正是这个浓度差,使被抽气体能源源不断地越过界面,扩散入射流中并被带往出口处。在那里,它们被机械泵带走。

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